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一种用于单晶硅片的存储装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202020882168.0
申请日：
2020-05-24
公开(公告)号：
CN212062405U
公开(公告)日：
2020-12-01
发明(设计)人：
王海军
薛佳勇
薛佳伟
申请人：
申请人地址：
300000 天津市北辰区天津北辰经济技术开发区双原道7号
IPC主分类号：
H01L21673
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-12-01 | 授权 | 授权 |