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一种用于单晶硅片的甩干装置
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202023331428.4
申请日
:
2020-12-30
公开(公告)号
:
CN215113555U
公开(公告)日
:
2021-12-10
发明(设计)人
:
蔡建名
申请人
:
申请人地址
:
225000 江苏省扬州市高邮经济开发区凌波路86号
IPC主分类号
:
F26B508
IPC分类号
:
F26B1100
F26B2100
F26B2502
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-12-10
授权
授权
共 50 条
[1]
一种单晶硅片甩干装置
[P].
陈峰
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
陈峰
.
中国专利
:CN209116672U
,2019-07-16
[2]
一种单晶硅片甩干烘干装置
[P].
王初林
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
王初林
.
中国专利
:CN214039205U
,2021-08-24
[3]
一种单晶硅片甩干装置
[P].
杨月英
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
杨月英
.
中国专利
:CN111446189A
,2020-07-24
[4]
一种用于单晶硅片的清洗装置
[P].
王志伟
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
王志伟
.
中国专利
:CN215466309U
,2022-01-11
[5]
一种用于单晶硅片切片装置
[P].
李超
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
上海用采电子有限公司
上海用采电子有限公司
李超
.
中国专利
:CN222681365U
,2025-03-28
[6]
一种单晶硅片
[P].
吉新安
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
吉新安
.
中国专利
:CN218499057U
,2023-02-17
[7]
一种单晶硅片
[P].
周日发
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
周日发
.
中国专利
:CN202633334U
,2012-12-26
[8]
一种单晶硅片
[P].
张忠安
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
张忠安
.
中国专利
:CN205335264U
,2016-06-22
[9]
一种单晶硅片
[P].
赵晓美
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
赵晓美
.
中国专利
:CN207868182U
,2018-09-14
[10]
一种单晶硅片
[P].
林晶莹
论文数:
0
引用数:
0
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0
林晶莹
.
中国专利
:CN207338399U
,2018-05-08
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