一种单晶硅片甩干装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821360627.8

申请日：

2018-08-22

公开(公告)号：

CN209116672U

公开(公告)日：

2019-07-16

发明(设计)人：

陈峰

申请人：

申请人地址：

324000 浙江省衢州市开化县华埠镇银辉路5号

IPC主分类号：

F26B1108

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

昆明合众智信知识产权事务所 53113

代理人：

钱磊

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-12	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):F26B 11/08 申请日:20180822 授权公告日:20190716 终止日期:20210822
2019-07-16	授权	授权

共 50 条

[1]

一种单晶硅片甩干烘干装置 [P].

王初林 .

中国专利 :CN214039205U ,2021-08-24

[2]

一种用于单晶硅片的甩干装置 [P].

蔡建名 .

中国专利 :CN215113555U ,2021-12-10

[3]

一种单晶硅片甩干装置 [P].

杨月英 .

中国专利 :CN111446189A ,2020-07-24

[4]

一种单晶硅片 [P].

吉新安 .

中国专利 :CN218499057U ,2023-02-17

[5]

一种单晶硅片倒角装置 [P].

姚锋 .

中国专利 :CN221539211U ,2024-08-16

[6]

一种喷气式单晶硅片干燥装置 [P].

陈峰 .

中国专利 :CN209116684U ,2019-07-16

[7]

一种用于单晶硅片清洗的清洗装置 [P].

陈峰 .

中国专利 :CN208938929U ,2019-06-04

[8]

一种单晶硅片倒角装置 [P].

王全文 ;

李鹭 ;

杨蛟 .

中国专利 :CN208744407U ,2019-04-16

[9]

一种单晶硅片的高效清洗装置 [P].

蔡建名 .

中国专利 :CN215089372U ,2021-12-10

[10]

一种单晶硅片 [P].

周日发 .

中国专利 :CN202633334U ,2012-12-26

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