一种单晶硅片甩干装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010404853.7

申请日：

2020-05-14

公开(公告)号：

CN111446189A

公开(公告)日：

2020-07-24

发明(设计)人：

杨月英

申请人：

申请人地址：

362000 福建省泉州市鲤城区温陵北路235号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

发明专利申请公布后的撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-06	发明专利申请公布后的撤回	发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):H01L 21/67 申请公布日:20200724
2020-07-24	公开	公开
2020-08-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20200514

共 50 条

[1]

一种单晶硅片甩干装置 [P].

陈峰 .

中国专利 :CN209116672U ,2019-07-16

[2]

一种单晶硅片甩干烘干装置 [P].

王初林 .

中国专利 :CN214039205U ,2021-08-24

[3]

一种用于单晶硅片的甩干装置 [P].

蔡建名 .

中国专利 :CN215113555U ,2021-12-10

[4]

单晶硅片清洗装置 [P].

朱玲 ;

朱汪龙 ;

王兰 .

中国专利 :CN206271669U ,2017-06-20

[5]

单晶硅片清洗装置 [P].

牛龙 ;

王文 ;

童林剑 ;

张斌 ;

胡亚东 ;

董典谟 ;

樊帅 .

中国专利 :CN203508507U ,2014-04-02

[6]

单晶硅片盒 [P].

钟平 .

中国专利 :CN204668284U ,2015-09-23

[7]

单晶硅片 [P].

沈浩平 ;

李建弘 ;

危晨 ;

刘涛 ;

赵越 .

中国专利 :CN306223259S ,2020-12-11

[8]

单晶硅片烘烤专用烤箱 [P].

吕凤岗 ;

程林 ;

曹来福 ;

戴珍旭 ;

胡正田 .

中国专利 :CN206019252U ,2017-03-15

[9]

一种单晶硅片 [P].

吉新安 .

中国专利 :CN218499057U ,2023-02-17

[10]

一种单晶硅片 [P].

周日发 .

中国专利 :CN202633334U ,2012-12-26

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