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具有纳米级分辨率的空间电荷测试系统及方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910413477.5
申请日：
2019-05-17
公开(公告)号：
CN110118756A
公开(公告)日：
2019-08-13
发明(设计)人：
张颖
李悠
王暄
申请人：
申请人地址：
150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路52号
IPC主分类号：
G01N2163
IPC分类号：
代理机构：
哈尔滨龙科专利代理有限公司 23206
代理人：
高媛
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-09-06 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/63 申请日:20190517 |
| 2020-11-20 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01N 21/63 申请公布日:20190813 |
| 2019-08-13 | 公开 | 公开 |