具有纳米级分辨率的空间电荷测试系统及方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201910413477.5
申请日
2019-05-17
公开(公告)号
CN110118756A
公开(公告)日
2019-08-13
发明(设计)人
张颖 李悠 王暄
申请人
申请人地址
150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路52号
IPC主分类号
G01N2163
IPC分类号
代理机构
哈尔滨龙科专利代理有限公司 23206
代理人
高媛
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[21]
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[28]
具有微米级分辨率的非接触式尺寸测量装置 [P]. 
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马泰奥·佩莱蒂 ;
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[30]
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