一种用于硅单晶片的酸洗机

被引：0

申请号：

CN202220291052.9

申请日：

2022-02-14

公开(公告)号：

CN217165706U

公开(公告)日：

2022-08-12

发明(设计)人：

王世江吴启宝

申请人：

申请人地址：

243071 安徽省马鞍山市马鞍山经济技术开发区梅山路399号科创中心内A521

IPC主分类号：

B08B1102

IPC分类号：

B08B104 B08B308 B08B1300

代理机构：

合肥铭辉知识产权代理事务所(普通合伙) 34212

代理人：

张立荣

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-12	授权	授权

共 50 条

[1]

一种单晶片自动酸洗机 [P].

吕明 .

中国专利 :CN220426153U ,2024-02-02

[2]

一种用于加工薄型硅单晶片的行星片 [P].

栾兴伟 ;

李强 ;

黄春峰 .

中国专利 :CN201419354Y ,2010-03-10

[3]

一种用于制作超薄硅单晶片的化学刻蚀装置 [P].

李国岭 ;

周锋子 ;

徐力 ;

郭金娥 ;

徐信富 .

中国专利 :CN202888134U ,2013-04-17

[4]

IGBT用硅单晶片和IGBT用硅单晶片的制造方法 [P].

小野敏昭 ;

梅野繁 ;

杉村涉 ;

宝来正隆 .

中国专利 :CN101054721A ,2007-10-17

[5]

一种用于硅单晶片的表面研磨组合物 [P].

王坤燕 ;

唐培松 ;

曹枫 ;

陈海锋 ;

徐敏虹 ;

潘国祥 .

中国专利 :CN102585766A ,2012-07-18

[6]

一种用于制作超薄硅单晶片的金属浆丝网印刷装置 [P].

李国岭 ;

徐力 ;

郭金娥 ;

徐信富 ;

周锋子 .

中国专利 :CN202878887U ,2013-04-17

[7]

一种用于制作超薄硅单晶片的化学刻蚀装置 [P].

李国岭 ;

周锋子 ;

徐力 ;

郭金娥 ;

徐信富 .

中国专利 :CN103681299A ,2014-03-26

[8]

一种用于硅单晶生长的导流筒 [P].

陈志谋 .

中国专利 :CN220485896U ,2024-02-13

[9]

一种硅单晶片研磨用的研磨液回收装置 [P].

孙智武 ;

陈卫群 ;

李海涛 ;

李建刚 ;

杨波 .

中国专利 :CN204686671U ,2015-10-07

[10]

一种硅单晶棒的拼棒装置 [P].

万海荣 .

中国专利 :CN222226652U ,2024-12-24

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