一种用于制作超薄硅单晶片的化学刻蚀装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210331993.1

申请日：

2012-09-10

公开(公告)号：

CN103681299A

公开(公告)日：

2014-03-26

发明(设计)人：

李国岭周锋子徐力郭金娥徐信富

申请人：

申请人地址：

471003 河南省洛阳市高新区丰华路1号交大科技产业园

IPC主分类号：

H01L21306

IPC分类号：

H01L2118

代理机构：

北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019

代理人：

寿宁;张华辉

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-03-15	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101747993163 IPC(主分类):H01L 21/306 专利申请号:2012103319931 申请公布日:20140326
2014-03-26	公开	公开
2014-07-30	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101584217787 IPC(主分类):H01L 21/306 专利申请号:2012103319931 申请日:20120910

共 50 条

[1]

一种用于制作超薄硅单晶片的化学刻蚀装置 [P].

李国岭 ;

周锋子 ;

徐力 ;

郭金娥 ;

徐信富 .

中国专利 :CN202888134U ,2013-04-17

[2]

一种用于制作超薄硅单晶片的金属浆丝网印刷装置 [P].

李国岭 ;

徐力 ;

郭金娥 ;

徐信富 ;

周锋子 .

中国专利 :CN202878887U ,2013-04-17

[3]

一种用于制作超薄硅单晶片的金属浆丝网印刷装置 [P].

李国岭 ;

徐力 ;

郭金娥 ;

徐信富 ;

周锋子 .

中国专利 :CN103660533A ,2014-03-26

[4]

一种用于硅单晶片的酸洗机 [P].

王世江 ;

吴启宝 .

中国专利 :CN217165706U ,2022-08-12

[5]

一种用于硅单晶片的表面研磨组合物 [P].

王坤燕 ;

唐培松 ;

曹枫 ;

陈海锋 ;

徐敏虹 ;

潘国祥 .

中国专利 :CN102585766A ,2012-07-18

[6]

一种用于加工薄型硅单晶片的行星片 [P].

栾兴伟 ;

李强 ;

黄春峰 .

中国专利 :CN201419354Y ,2010-03-10

[7]

一种消除硅单晶片器件制作区原生坑缺陷的方法 [P].

肖清华 ;

屠海令 ;

周旗钢 ;

王敬 .

中国专利 :CN1632919A ,2005-06-29

[8]

硅单晶的生产方法及装置、硅单晶和硅半导体晶片 [P].

维尔弗里德·冯·安蒙 ;

贾尼斯·维尔布利斯 ;

马丁·韦伯 ;

托马斯·韦策尔 ;

赫伯特·施密特 .

中国专利 :CN100374628C ,2004-10-27

[9]

用于制造高质量硅单晶锭的方法以及由其制得的硅单晶片 [P].

赵铉鼎 .

中国专利 :CN101037794A ,2007-09-19

[10]

一种用于制作硅单晶材料的热场单晶炉 [P].

章斌 ;

程龙柱 ;

俞顺根 ;

毛荣昌 ;

王林 ;

张宇平 .

中国专利 :CN209260258U ,2019-08-16

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