等离子体处理装置和等离子体处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610137549.0

申请日：

2006-10-25

公开(公告)号：

CN101005007A

公开(公告)日：

2007-07-25

发明(设计)人：

堀口贵弘

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

H01L21205 H01L2131 H05H146 C23C1644 C23C16455 H01J3732

代理机构：

北京纪凯知识产权代理有限公司

代理人：

龙淳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-09-19	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-08-19	授权	授权
2007-07-25	公开	公开
2015-12-16	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101637679001 IPC(主分类):H01L 21/00 专利号:ZL2006101375490 申请日:20061025 授权公告日:20090819 终止日期:20141025

共 50 条

[1]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

高山航 ;

近江宗行 ;

伊深怜 ;

五十岚大 ;

铃木贵幸 ;

村上贵宏 .

中国专利 :CN110246739A ,2019-09-17

[2]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

高山航 ;

近江宗行 ;

伊深怜 ;

五十岚大 ;

铃木贵幸 ;

村上贵宏 .

日本专利 :CN110246739B ,2024-07-02

[3]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

村上贵宏 .

中国专利 :CN102693892A ,2012-09-26

[4]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

堀口贵弘 ;

冈信介 .

中国专利 :CN100536634C ,2006-11-15

[5]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

堀口贵弘 ;

大见忠弘 ;

平山昌树 .

中国专利 :CN101017769A ,2007-08-15

[6]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

冈信介 ;

堀口贵弘 ;

西村和晃 ;

北村昌幸 ;

大见忠弘 ;

平山昌树 .

中国专利 :CN101047118A ,2007-10-03

[7]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

堀口贵弘 .

中国专利 :CN101090598A ,2007-12-19

[8]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

小林义之 .

中国专利 :CN100508116C ,2007-09-26

[9]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

齐藤均 ;

佐藤亮 .

中国专利 :CN101465283A ,2009-06-24

[10]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

齐藤均 ;

佐藤亮 .

中国专利 :CN101969016A ,2011-02-09

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