等离子体处理装置和等离子体处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710093621.9

申请日：

2007-03-30

公开(公告)号：

CN101047118A

公开(公告)日：

2007-10-03

发明(设计)人：

冈信介堀口贵弘西村和晃北村昌幸大见忠弘平山昌树

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

H01L21205 H01L213065 H01L2131 H01L21311 C23C16511 C23F400 H05H146 H01J3732 H01J3700

代理机构：

北京纪凯知识产权代理有限公司

代理人：

龙淳

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-05-18	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101661344537 IPC(主分类):H01L 21/00 专利号:ZL2007100936219 申请日:20070330 授权公告日:20090819 终止日期:20150330
2009-08-19	授权	授权
2007-11-28	实质审查的生效	实质审查的生效
2007-10-03	公开	公开

共 50 条

[1]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

堀口贵弘 .

中国专利 :CN101090598A ,2007-12-19

[2]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

山泽阳平 .

中国专利 :CN102194639B ,2011-09-21

[3]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

堀口贵弘 ;

冈信介 .

中国专利 :CN100536634C ,2006-11-15

[4]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

镰田英纪 ;

池田太郎 ;

佐藤干夫 ;

山本伸彦 .

日本专利 :CN112788826B ,2024-09-13

[5]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

山泽阳平 ;

齐藤昌司 ;

传宝一树 ;

輿水地盐 ;

山涌纯 .

中国专利 :CN102056396A ,2011-05-11

[6]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

镰田英纪 ;

佐藤干夫 ;

池田太郎 ;

山本伸彦 .

中国专利 :CN113615322A ,2021-11-05

[7]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

米泽亮太 ;

高桥哲朗 ;

大崎良规 ;

铃木公贵 ;

齐藤智博 ;

山下润 ;

佐藤吉宏 ;

盐泽俊彦 ;

山崎幸一 ;

古木和弘 .

中国专利 :CN102753727A ,2012-10-24

[8]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

堀口贵弘 .

中国专利 :CN101005007A ,2007-07-25

[9]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

西野雅 ;

真壁正嗣 ;

长山将之 ;

半田达也 ;

绿川良太郎 ;

小林启悟 ;

仁矢铁也 .

中国专利 :CN103959447A ,2014-07-30

[10]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

田才忠 ;

野泽俊久 .

中国专利 :CN101347051B ,2009-01-14

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