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光致抗蚀剂去除剂组合物
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201980006779.9
申请日：
2019-01-23
公开(公告)号：
CN111527453A
公开(公告)日：
2020-08-11
发明(设计)人：
吴恒鹏
林观阳
申请人：
申请人地址：
德国达姆施塔特
IPC主分类号：
G03F742
IPC分类号：
代理机构：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038
代理人：
陈晰
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-08-11 | 公开 | 公开 |
| 2021-02-12 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/42 申请日:20190123 |