光致抗蚀剂去除剂组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980006788.8

申请日：

2019-01-23

公开(公告)号：

CN111512239B

公开(公告)日：

2024-05-03

发明(设计)人：

R·阿伦特吴恒鹏林观阳

申请人：

默克专利股份有限公司

申请人地址：

德国达姆施塔特

IPC主分类号：

G03F7/42

IPC分类号：

代理机构：

中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038

代理人：

陈晰

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-03	授权	授权

共 50 条

[1]

光致抗蚀剂去除剂组合物 [P].

R·阿伦特 ;

吴恒鹏 ;

林观阳 .

中国专利 :CN111512239A ,2020-08-07

[2]

光致抗蚀剂去除剂组合物 [P].

吴恒鹏 ;

R·阿伦特 .

德国专利 :CN114080571B ,2025-04-04

[3]

光致抗蚀剂去除剂组合物 [P].

吴恒鹏 ;

林观阳 .

中国专利 :CN111527453A ,2020-08-11

[4]

光致抗蚀剂去除剂组合物 [P].

吴恒鹏 ;

R·阿伦特 .

中国专利 :CN114080571A ,2022-02-22

[5]

光致抗蚀剂去除剂组合物 [P].

吴恒鹏 ;

林观阳 .

德国专利 :CN111527453B ,2024-10-11

[6]

光致抗蚀剂去除用组合物及光致抗蚀剂的去除方法 [P].

黑泽伸也 ;

杉本和志 ;

曾根昌弥 ;

玉井聪 ;

宫下欣树 .

日本专利 :CN120303620A ,2025-07-11

[7]

光致抗蚀剂去除用组合物 [P].

内藤幸英 ;

大前健祐 ;

松永裕嗣 ;

玉井聪 .

中国专利 :CN114207529A ,2022-03-18

[8]

光致抗蚀剂移除剂组合物 [P].

吴恒鹏 ;

D·伦尼 .

德国专利 :CN116568794B ,2025-07-25

[9]

光致抗蚀剂去除剂 [P].

曹远美 ;

M·费尼斯 ;

王莉莉 ;

孙来生 ;

吴爱萍 .

中国专利 :CN114502708A ,2022-05-13

[10]

光致抗蚀剂组合物 [P].

金升起 ;

边滋勋 ;

金炳郁 ;

金东敏 ;

李原荣 ;

诸葛银 ;

朴柱京 ;

朱相一 ;

咸先美 ;

李斗渊 ;

朴一圭 ;

郑起和 ;

金京浩 ;

洪宇成 .

中国专利 :CN102566270A ,2012-07-11

← 1 2 3 4 5 →