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光致抗蚀剂去除用组合物及光致抗蚀剂的去除方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202380082774.0
申请日：
2023-12-12
公开(公告)号：
CN120303620A
公开(公告)日：
2025-07-11
发明(设计)人：
黑泽伸也 杉本和志 曾根昌弥 玉井聪 宫下欣树
申请人：
三菱瓦斯化学株式会社
申请人地址：
日本
IPC主分类号：
G03F7/42
IPC分类号：
C11D7/32 C11D7/50 H05K3/00
代理机构：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人：
李茂家;石腾飞
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-07-11 公开 公开
2025-07-29 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/42申请日:20231212
共 50 条
[1]
光致抗蚀剂去除用组合物及光致抗蚀剂的去除方法 [P]. 
黑泽伸也 ;
杉本和志 ;
曾根昌弥 ;
玉井聪 ;
宫下欣树 .
日本专利 :CN120359472A ,2025-07-22
[2]
光致抗蚀剂去除用组合物及光致抗蚀剂的去除方法 [P]. 
黑泽伸也 ;
杉本和志 ;
曾根昌弥 ;
玉井聪 ;
宫下欣树 .
日本专利 :CN120303619A ,2025-07-11
[3]
光致抗蚀剂去除用组合物 [P]. 
内藤幸英 ;
大前健祐 ;
松永裕嗣 ;
玉井聪 .
中国专利 :CN114207529A ,2022-03-18
[4]
光致抗蚀剂去除剂组合物 [P]. 
R·阿伦特 ;
吴恒鹏 ;
林观阳 .
中国专利 :CN111512239A ,2020-08-07
[5]
光致抗蚀剂去除剂组合物 [P]. 
R·阿伦特 ;
吴恒鹏 ;
林观阳 .
德国专利 :CN111512239B ,2024-05-03
[6]
光致抗蚀剂去除剂 [P]. 
曹远美 ;
M·费尼斯 ;
王莉莉 ;
孙来生 ;
吴爱萍 .
中国专利 :CN114502708A ,2022-05-13
[7]
光致抗蚀剂去除剂组合物 [P]. 
吴恒鹏 ;
R·阿伦特 .
德国专利 :CN114080571B ,2025-04-04
[8]
光致抗蚀剂去除剂组合物 [P]. 
吴恒鹏 ;
林观阳 .
中国专利 :CN111527453A ,2020-08-11
[9]
光致抗蚀剂去除剂组合物 [P]. 
吴恒鹏 ;
R·阿伦特 .
中国专利 :CN114080571A ,2022-02-22
[10]
光致抗蚀剂去除剂组合物 [P]. 
吴恒鹏 ;
林观阳 .
德国专利 :CN111527453B ,2024-10-11
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