具有改进的阻隔层性能的薄膜的高速沉积

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200980148629.8

申请日：

2009-12-07

公开(公告)号：

CN102239278A

公开(公告)日：

2011-11-09

发明(设计)人：

E.R.迪基 W.巴罗

申请人：

申请人地址：

美国俄勒冈州

IPC主分类号：

C23C1640

IPC分类号：

C23C1600 H01L21205

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

李连涛;林毅斌

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-11-09	公开	公开
2011-12-21	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/40 专利申请号:2009801486298 申请日:20091207 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101158511687
2014-04-02	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101699756880 IPC(主分类):C23C 16/40 专利申请号:2009801486298 申请公布日:20111109

共 50 条

[1]

用于形成阻隔层的方法 [P].

R·A·贝尔曼 ;

T·K·庄 ;

R·G·曼利 ;

M·A·凯斯达 ;

P·A·萨琴科 .

中国专利 :CN105308207A ,2016-02-03

[2]

具有改进的隔绝性能的柔性泡沫 [P].

C·佐纳 ;

M·贝特曼 .

中国专利 :CN108570169A ,2018-09-25

[3]

具有改进的阻隔作用和耐刮擦性能的透明的耐候性阻隔膜 [P].

J·阿克曼 ;

C·内乌曼 ;

G·塞尤姆 ;

F·施瓦格 .

中国专利 :CN103003062A ,2013-03-27

[4]

具有改进的性能的超导体厚膜 [P].

李晓萍 ;

T·科登坎达斯 ;

E·J·西格尔 ;

W·张 ;

M·W·鲁皮奇 ;

黄一兵 .

中国专利 :CN101258618B ,2008-09-03

[5]

用于湿法沉积薄膜的方法 [P].

卡洛斯·帕兹 ;

迪米特里·利奎特 ;

塞德里克·卡尔伯格 ;

伯诺瓦·海因里希斯 ;

克里斯特勒·阿烈 .

中国专利 :CN107002248A ,2017-08-01

[6]

具有改进的防污性能的壳管式换热器 [P].

T·斯文森 .

中国专利 :CN104067082A ,2014-09-24

[7]

制备具有气体阻隔性能的聚合物膜的方法 [P].

I·皮奇 ;

P·普雷斯胡贝尔-普孚卢伊戈尔 ;

K·汉厄弗斯 ;

P·比普斯 ;

T·斯密特 .

中国专利 :CN109689749A ,2019-04-26

[8]

改进的区域选择性沉积 [P].

S·M·吉尔莫特瓦克 ;

K·卡谢尔 .

:CN120184089A ,2025-06-20

[9]

制备具有改进的抗湿性的阻隔膜的方法及由其制备的阻隔膜 [P].

李芝容 ;

朴正雨 ;

金显栽 .

中国专利 :CN107919405B ,2018-04-17

[10]

具有改进的底涂层的硅薄膜太阳能电池 [P].

陆松伟 .

中国专利 :CN102804390B ,2012-11-28

← 1 2 3 4 5 →