改进的区域选择性沉积

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411836404.4

申请日：

2024-12-13

公开(公告)号：

CN120184089A

公开(公告)日：

2025-06-20

发明(设计)人：

S·M·吉尔莫特瓦克 K·卡谢尔

申请人：

ASMIP私人控股有限公司

申请人地址：

荷兰阿尔梅勒

IPC主分类号：

H01L21/768

IPC分类号：

C23C16/04 B05D1/00

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

王冉

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-20	公开	公开

共 50 条

[1]

区域选择性沉积 [P].

J·黄 ;

K·K·卡谢尔 .

:CN120866812A ,2025-10-31

[2]

选择性钝化和选择性沉积 [P].

J·W·梅斯 ;

M·吉文斯 ;

S·豪卡 ;

V·帕鲁丘里 ;

I·拉伊梅克斯 ;

S·邓 ;

A·伊利贝里 ;

E·托伊斯 ;

D·朗格里 .

中国专利 :CN110993482A ,2020-04-10

[3]

选择性钝化和选择性沉积 [P].

J.W.梅斯 ;

M.E.吉文斯 ;

S.P.霍卡 ;

V.帕鲁丘里 ;

I.J.拉伊杰马克斯 ;

邓少任 ;

A.伊利贝里 ;

E.E.托伊斯 ;

D.朗格里 ;

C.德泽拉 ;

M.图米恩 .

中国专利 :CN115679286A ,2023-02-03

[4]

混合氧化物介电膜的固有区域选择性沉积 [P].

C·M·布里克 .

美国专利 :CN119054046A ,2024-11-29

[5]

掩模材料的区域选择性沉积 [P].

曾文德 ;

E·阿尔塔米拉诺桑切兹 .

中国专利 :CN110504162B ,2019-11-26

[6]

利用醇选择性还原和保护的选择性沉积 [P].

刘风全 ;

马伯方 ;

艾华 ;

吕疆 ;

张镁 ;

戴维·汤普森 .

中国专利 :CN106663614B ,2017-05-10

[7]

经由旋涂组装的液晶SAM及其区域选择性沉积特性 [P].

C·维特泽尔 ;

N·布劳因 ;

R·弗尔特 ;

S·波巴德 ;

D·巴斯卡兰 .

德国专利 :CN120380845A ,2025-07-25

[8]

钼的选择性沉积的方法 [P].

兰德·哈达丁 ;

库纳尔·巴哈特纳瓜 ;

莫希斯·维尔格瑟 ;

若泽·亚历山德罗·罗梅罗 ;

阿尼鲁德·谢克瓦特 .

美国专利 :CN119585463A ,2025-03-07

[9]

用于区域选择性沉积的改进的聚合物抑制剂 [P].

E·J·希罗 ;

M·图米恩 ;

C·德泽拉 .

:CN119913498A ,2025-05-02

[10]

使用水解的选择性沉积 [P].

丹尼斯·豪斯曼 ;

保罗·莱曼利 .

美国专利 :CN112005343B ,2025-05-06

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