选择性钝化和选择性沉积

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910938338.4

申请日：

2019-09-30

公开(公告)号：

CN110993482A

公开(公告)日：

2020-04-10

发明(设计)人：

J·W·梅斯 M·吉文斯 S·豪卡 V·帕鲁丘里 I·拉伊梅克斯 S·邓 A·伊利贝里 E·托伊斯 D·朗格里

申请人：

申请人地址：

荷兰，阿尔梅勒

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

北京纪凯知识产权代理有限公司 11245

代理人：

姚远

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-04-10	公开	公开
2022-05-10	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):H01L 21/02 变更事项:发明人变更前:J·W·梅斯 M·吉文斯 S·豪卡 V·帕鲁丘里 I·拉伊梅克斯 S·邓 A·伊利贝里 E·托伊斯 D·朗格里变更后:J·W·梅斯 M·吉文斯 S·豪卡 V·帕鲁丘里 I·拉伊梅克斯 S·邓 A·伊利贝里 E·托伊斯 D·朗格里 V·波尔
2021-08-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20190930

共 50 条

[1]

选择性钝化和选择性沉积 [P].

J.W.梅斯 ;

M.E.吉文斯 ;

S.P.霍卡 ;

V.帕鲁丘里 ;

I.J.拉伊杰马克斯 ;

邓少任 ;

A.伊利贝里 ;

E.E.托伊斯 ;

D.朗格里 ;

C.德泽拉 ;

M.图米恩 .

中国专利 :CN115679286A ,2023-02-03

[2]

利用醇选择性还原和保护的选择性沉积 [P].

刘风全 ;

马伯方 ;

艾华 ;

吕疆 ;

张镁 ;

戴维·汤普森 .

中国专利 :CN106663614B ,2017-05-10

[3]

选择性膜沉积 [P].

P·马 .

:CN120356823A ,2025-07-22

[4]

钝化膜的选择性沉积 [P].

安德里亚·列奥尼 ;

王勇 ;

多琳·卫英·勇 .

美国专利 :CN114761613B ,2024-11-29

[5]

钝化膜的选择性沉积 [P].

安德里亚·列奥尼 ;

王勇 ;

多琳·卫英·勇 .

中国专利 :CN114761613A ,2022-07-15

[6]

使用水解的选择性沉积 [P].

丹尼斯·豪斯曼 ;

保罗·莱曼利 .

美国专利 :CN112005343B ,2025-05-06

[7]

使用水解的选择性沉积 [P].

丹尼斯·豪斯曼 ;

保罗·莱曼利 .

中国专利 :CN112005343A ,2020-11-27

[8]

改进的区域选择性沉积 [P].

S·M·吉尔莫特瓦克 ;

K·卡谢尔 .

:CN120184089A ,2025-06-20

[9]

用于改善选择性沉积工艺中的选择性的预处理方法 [P].

丹尼斯·豪斯曼 ;

伊尔哈姆·莫希米 ;

张鹏翼 ;

保罗·C·莱曼利 ;

卡希什·沙玛 ;

亚力山大·R·福克斯 ;

纳格拉杰·尚卡尔 ;

卡普·瑟里什·雷迪 ;

大卫·查尔斯·史密斯 .

美国专利 :CN112567499B ,2025-05-09

[10]

用于改善选择性沉积工艺中的选择性的预处理方法 [P].

丹尼斯·豪斯曼 ;

伊尔哈姆·莫希米 ;

张鹏翼 ;

保罗·C·莱曼利 ;

卡希什·沙玛 ;

亚力山大·R·福克斯 ;

纳格拉杰·尚卡尔 ;

卡普·瑟里什·雷迪 ;

大卫·查尔斯·史密斯 .

中国专利 :CN112567499A ,2021-03-26

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