用于改善选择性沉积工艺中的选择性的预处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980052566.X

申请日：

2019-07-26

公开(公告)号：

CN112567499B

公开(公告)日：

2025-05-09

发明(设计)人：

丹尼斯·豪斯曼伊尔哈姆·莫希米张鹏翼保罗·C·莱曼利卡希什·沙玛亚力山大·R·福克斯纳格拉杰·尚卡尔卡普·瑟里什·雷迪大卫·查尔斯·史密斯

申请人：

朗姆研究公司

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L21/28

IPC分类号：

H01L21/285 H01L21/02 H01L21/306 H01L21/768

代理机构：

上海胜康律师事务所 31263

代理人：

樊英如;邱晓敏

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-09	授权	授权

共 50 条

[1]

用于改善选择性沉积工艺中的选择性的预处理方法 [P].

丹尼斯·豪斯曼 ;

伊尔哈姆·莫希米 ;

张鹏翼 ;

保罗·C·莱曼利 ;

卡希什·沙玛 ;

亚力山大·R·福克斯 ;

纳格拉杰·尚卡尔 ;

卡普·瑟里什·雷迪 ;

大卫·查尔斯·史密斯 .

中国专利 :CN112567499A ,2021-03-26

[2]

选择性钝化和选择性沉积 [P].

J.W.梅斯 ;

M.E.吉文斯 ;

S.P.霍卡 ;

V.帕鲁丘里 ;

I.J.拉伊杰马克斯 ;

邓少任 ;

A.伊利贝里 ;

E.E.托伊斯 ;

D.朗格里 ;

C.德泽拉 ;

M.图米恩 .

中国专利 :CN115679286A ,2023-02-03

[3]

选择性钝化和选择性沉积 [P].

J·W·梅斯 ;

M·吉文斯 ;

S·豪卡 ;

V·帕鲁丘里 ;

I·拉伊梅克斯 ;

S·邓 ;

A·伊利贝里 ;

E·托伊斯 ;

D·朗格里 .

中国专利 :CN110993482A ,2020-04-10

[4]

利用醇选择性还原和保护的选择性沉积 [P].

刘风全 ;

马伯方 ;

艾华 ;

吕疆 ;

张镁 ;

戴维·汤普森 .

中国专利 :CN106663614B ,2017-05-10

[5]

用于选择性沉积的选择性改良的原位预清洁 [P].

吴凯 ;

维卡什·班西埃 ;

柳尚澔 ;

张镁 ;

马飞跃 .

中国专利 :CN109983155A ,2019-07-05

[6]

钼的选择性沉积的方法 [P].

兰德·哈达丁 ;

库纳尔·巴哈特纳瓜 ;

莫希斯·维尔格瑟 ;

若泽·亚历山德罗·罗梅罗 ;

阿尼鲁德·谢克瓦特 .

美国专利 :CN119585463A ,2025-03-07

[7]

改进的区域选择性沉积 [P].

S·M·吉尔莫特瓦克 ;

K·卡谢尔 .

:CN120184089A ,2025-06-20

[8]

使用水解的选择性沉积 [P].

丹尼斯·豪斯曼 ;

保罗·莱曼利 .

美国专利 :CN112005343B ,2025-05-06

[9]

使用水解的选择性沉积 [P].

丹尼斯·豪斯曼 ;

保罗·莱曼利 .

中国专利 :CN112005343A ,2020-11-27

[10]

区域选择性沉积 [P].

J·黄 ;

K·K·卡谢尔 .

:CN120866812A ,2025-10-31

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