选择性钝化和选择性沉积

被引：0

申请号：

CN202210891880.0

申请日：

2022-07-27

公开(公告)号：

CN115679286A

公开(公告)日：

2023-02-03

发明(设计)人：

J.W.梅斯 M.E.吉文斯 S.P.霍卡 V.帕鲁丘里 I.J.拉伊杰马克斯邓少任 A.伊利贝里 E.E.托伊斯 D.朗格里 C.德泽拉 M.图米恩

申请人：

申请人地址：

荷兰阿尔梅勒

IPC主分类号：

C23C1640

IPC分类号：

C23C1602 H01L2102

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

焦玉恒

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-02-03	公开	公开

共 50 条

[1]

选择性钝化和选择性沉积 [P].

J·W·梅斯 ;

M·吉文斯 ;

S·豪卡 ;

V·帕鲁丘里 ;

I·拉伊梅克斯 ;

S·邓 ;

A·伊利贝里 ;

E·托伊斯 ;

D·朗格里 .

中国专利 :CN110993482A ,2020-04-10

[2]

利用醇选择性还原和保护的选择性沉积 [P].

刘风全 ;

马伯方 ;

艾华 ;

吕疆 ;

张镁 ;

戴维·汤普森 .

中国专利 :CN106663614B ,2017-05-10

[3]

钝化膜的选择性沉积 [P].

安德里亚·列奥尼 ;

王勇 ;

多琳·卫英·勇 .

美国专利 :CN114761613B ,2024-11-29

[4]

钝化膜的选择性沉积 [P].

安德里亚·列奥尼 ;

王勇 ;

多琳·卫英·勇 .

中国专利 :CN114761613A ,2022-07-15

[5]

用于改善选择性沉积工艺中的选择性的预处理方法 [P].

丹尼斯·豪斯曼 ;

伊尔哈姆·莫希米 ;

张鹏翼 ;

保罗·C·莱曼利 ;

卡希什·沙玛 ;

亚力山大·R·福克斯 ;

纳格拉杰·尚卡尔 ;

卡普·瑟里什·雷迪 ;

大卫·查尔斯·史密斯 .

美国专利 :CN112567499B ,2025-05-09

[6]

用于改善选择性沉积工艺中的选择性的预处理方法 [P].

丹尼斯·豪斯曼 ;

伊尔哈姆·莫希米 ;

张鹏翼 ;

保罗·C·莱曼利 ;

卡希什·沙玛 ;

亚力山大·R·福克斯 ;

纳格拉杰·尚卡尔 ;

卡普·瑟里什·雷迪 ;

大卫·查尔斯·史密斯 .

中国专利 :CN112567499A ,2021-03-26

[7]

区域选择性沉积 [P].

J·黄 ;

K·K·卡谢尔 .

:CN120866812A ,2025-10-31

[8]

选择性膜沉积 [P].

P·马 .

:CN120356823A ,2025-07-22

[9]

改进的区域选择性沉积 [P].

S·M·吉尔莫特瓦克 ;

K·卡谢尔 .

:CN120184089A ,2025-06-20

[10]

使用水解的选择性沉积 [P].

丹尼斯·豪斯曼 ;

保罗·莱曼利 .

美国专利 :CN112005343B ,2025-05-06

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