干涉图像取得装置和干涉图像取得方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880085772.6

申请日：

2018-11-22

公开(公告)号：

CN111556951B

公开(公告)日：

2020-08-18

发明(设计)人：

山内丰彦后藤谦太郎松井永幸平川聪史山田秀直

申请人：

申请人地址：

日本静冈县

IPC主分类号：

G01B902018

IPC分类号：

G01B1124 G01B2100 G01N2145

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

杨琦;王昊

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-18	公开	公开
2022-05-03	授权	授权
2020-09-11	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 9/02 申请日:20181122

共 50 条

[1]

图像取得装置以及图像取得方法 [P].

松本直也 ;

渡边向阳 .

中国专利 :CN107209359A ,2017-09-26

[2]

图像取得装置以及图像取得方法 [P].

松本直也 .

中国专利 :CN107209360A ,2017-09-26

[3]

图像取得装置以及图像取得方法 [P].

松本直也 ;

冈崎茂俊 .

中国专利 :CN109073873B ,2018-12-21

[4]

图像取得系统和图像取得方法 [P].

杉山元胤 ;

大西达也 .

中国专利 :CN111837028A ,2020-10-27

[5]

图像取得装置、检查装置和图像取得方法 [P].

近藤秀幸 ;

松田俊辅 ;

土屋邦彦 .

日本专利 :CN120283156A ,2025-07-08

[6]

图像取得装置、检查装置和图像取得方法 [P].

松田俊辅 ;

近藤秀幸 ;

土屋邦彦 .

日本专利 :CN120077264A ,2025-05-30

[7]

图像取得装置及图像取得方法 [P].

须山敏康 ;

大西达也 .

中国专利 :CN106233127A ,2016-12-14

[8]

图像取得装置、图像取得方法以及图像校正程序 [P].

纹川亮 ;

中西正一 ;

阿部真也 .

中国专利 :CN108271412A ,2018-07-10

[9]

距离图像取得装置及距离图像取得方法 [P].

间瀬光人 ;

平光纯 ;

岛田明洋 .

日本专利 :CN116097126B ,2025-09-05

[10]

图像取得装置、基板检查装置及图像取得方法 [P].

大池博史 ;

杉山健二 ;

天野雅史 ;

横山壮太 .

日本专利 :CN120153221A ,2025-06-13

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