图像取得装置、基板检查装置及图像取得方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202280101881.9

申请日：

2022-11-22

公开(公告)号：

CN120153221A

公开(公告)日：

2025-06-13

发明(设计)人：

大池博史杉山健二天野雅史横山壮太

申请人：

株式会社富士

申请人地址：

日本

IPC主分类号：

G01B11/02

IPC分类号：

G01B11/24

代理机构：

中原信达知识产权代理有限责任公司 11219

代理人：

杨青;安翔

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-01	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01B 11/02申请日:20221122
2025-06-13	公开	公开

共 50 条

[1]

图像取得装置、检查装置和图像取得方法 [P].

近藤秀幸 ;

松田俊辅 ;

土屋邦彦 .

日本专利 :CN120283156A ,2025-07-08

[2]

图像取得装置、检查装置和图像取得方法 [P].

松田俊辅 ;

近藤秀幸 ;

土屋邦彦 .

日本专利 :CN120077264A ,2025-05-30

[3]

图像取得装置及图像取得方法 [P].

须山敏康 ;

大西达也 .

中国专利 :CN106233127A ,2016-12-14

[4]

图像取得装置以及图像取得方法 [P].

松本直也 ;

渡边向阳 .

中国专利 :CN107209359A ,2017-09-26

[5]

图像取得装置以及图像取得方法 [P].

松本直也 .

中国专利 :CN107209360A ,2017-09-26

[6]

图像取得装置以及图像取得方法 [P].

松本直也 ;

冈崎茂俊 .

中国专利 :CN109073873B ,2018-12-21

[7]

距离图像取得装置及距离图像取得方法 [P].

间瀬光人 ;

平光纯 ;

岛田明洋 .

日本专利 :CN116097126B ,2025-09-05

[8]

图像取得装置、图像取得方法以及图像校正程序 [P].

纹川亮 ;

中西正一 ;

阿部真也 .

中国专利 :CN108271412A ,2018-07-10

[9]

干涉图像取得装置和干涉图像取得方法 [P].

山内丰彦 ;

后藤谦太郎 ;

松井永幸 ;

平川聪史 ;

山田秀直 .

中国专利 :CN111556951B ,2020-08-18

[10]

图像取得装置 [P].

片桐佳来 ;

宅见宗则 ;

内田圭祐 ;

泷口优 ;

北山研一 ;

石井胜弘 ;

大石友则 .

日本专利 :CN118348036A ,2024-07-16

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