图像取得装置、检查装置和图像取得方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202380073297.1

申请日：

2023-08-07

公开(公告)号：

CN120283156A

公开(公告)日：

2025-07-08

发明(设计)人：

近藤秀幸松田俊辅土屋邦彦

申请人：

浜松光子学株式会社

申请人地址：

日本

IPC主分类号：

G01N21/84

IPC分类号：

G01N21/89

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

杨琦

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-25	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01N 21/84申请日:20230807
2025-07-08	公开	公开

共 50 条

[1]

图像取得装置、检查装置和图像取得方法 [P].

松田俊辅 ;

近藤秀幸 ;

土屋邦彦 .

日本专利 :CN120077264A ,2025-05-30

[2]

图像取得装置、基板检查装置及图像取得方法 [P].

大池博史 ;

杉山健二 ;

天野雅史 ;

横山壮太 .

日本专利 :CN120153221A ,2025-06-13

[3]

图像取得装置和图像取得方法 [P].

奥河正利 ;

大石英资 .

中国专利 :CN104755989B ,2015-07-01

[4]

图像取得装置以及图像取得方法 [P].

松本直也 ;

冈崎茂俊 .

中国专利 :CN109073873B ,2018-12-21

[5]

图像取得装置以及图像取得装置的图像取得方法 [P].

岩瀬富美雄 .

中国专利 :CN105683806A ,2016-06-15

[6]

图像取得装置以及图像取得方法 [P].

松本直也 ;

渡边向阳 .

中国专利 :CN107209359A ,2017-09-26

[7]

图像取得装置及图像取得方法 [P].

须山敏康 ;

大西达也 .

中国专利 :CN106233127A ,2016-12-14

[8]

干涉图像取得装置和干涉图像取得方法 [P].

山内丰彦 ;

后藤谦太郎 ;

松井永幸 ;

平川聪史 ;

山田秀直 .

中国专利 :CN111556951B ,2020-08-18

[9]

图像取得装置以及图像取得方法 [P].

松本直也 .

中国专利 :CN107209360A ,2017-09-26

[10]

图像取得系统和图像取得方法 [P].

杉山元胤 ;

大西达也 .

中国专利 :CN111837028A ,2020-10-27

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