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微机械压力传感器设备和相应的制造方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201980085011.5
申请日：
2019-12-13
公开(公告)号：
CN113227740A
公开(公告)日：
2021-08-06
发明(设计)人：
T·弗里德里希 J·梅克巴赫
申请人：
申请人地址：
德国斯图加特
IPC主分类号：
G01L900
IPC分类号：
B81B300
代理机构：
永新专利商标代理有限公司 72002
代理人：
郭毅
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-08-06 公开 公开
2022-01-11 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):G01L 9/00 申请日:20191213
共 50 条
[1]
微机械压力传感器设备和相应的制造方法 [P]. 
T·弗里德里希 ;
J·梅克巴赫 .
德国专利 :CN113227740B ,2024-07-12
[2]
微机械压力传感器设备和相应的制造方法 [P]. 
P·施莫尔林格鲁贝尔 ;
H·韦伯 .
中国专利 :CN112384779A ,2021-02-19
[3]
微机械压力传感器设备和相应的制造方法 [P]. 
V·森兹 ;
A·丹嫩贝格 ;
J·佛伦茨 .
中国专利 :CN111373233B ,2020-07-03
[4]
微机械压力传感器设备和相应的制造方法 [P]. 
R·毛尔 ;
F·霍伊克 .
中国专利 :CN111164400B ,2020-05-15
[5]
微机械压力传感器装置的制造方法和相应的微机械压力传感器装置 [P]. 
武震宇 .
中国专利 :CN106986301B ,2017-07-28
[6]
微机械压力传感器和用于制造微机械压力传感器的方法 [P]. 
F·韦尔克 ;
C·于芬格 ;
D·S·波德别尔 .
德国专利 :CN117664430A ,2024-03-08
[7]
微机械压力传感器以及用于制造微机械压力传感器的方法 [P]. 
A·丹嫩贝格 ;
T·亨 .
中国专利 :CN110476047A ,2019-11-19
[8]
微机械压力传感器装置以及相应的制造方法 [P]. 
A·克尔布尔 ;
J·赖因穆特 ;
J·克拉森 .
中国专利 :CN104773705A ,2015-07-15
[9]
微机械压力传感器装置以及相应的制造方法 [P]. 
J·克拉森 ;
J·赖因穆特 ;
A·克尔布尔 .
中国专利 :CN105940287A ,2016-09-14
[10]
微机械压力传感器装置以及相应的制造方法 [P]. 
J·克拉森 .
中国专利 :CN106170682A ,2016-11-30
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