真空蒸镀机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510006399.5

申请日：

2005-01-28

公开(公告)号：

CN1648279A

公开(公告)日：

2005-08-03

发明(设计)人：

神川进森崎裕彦和田宏三平井悦郎小林敏郎加藤光雄平野龙也

申请人：

申请人地址：

日本国东京都

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1454 C23C1456

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

汪惠民

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2005-08-03	公开	公开
2009-08-26	专利申请权、专利权的转移(专利权的转移)	专利申请权、专利权的转移(专利权的转移) 变更事项:专利权人变更前权利人:三菱日立制铁机械株式会社变更后权利人:三菱重工业株式会社变更事项:地址变更前:日本国东京都变更后:日本东京登记生效日:20090717
2005-09-28	实质审查的生效	实质审查的生效
2023-01-06	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20050128 授权公告日:20090708 终止日期:20220128
2009-07-08	授权	授权

共 50 条

[1]

真空蒸镀机 [P].

神川进 ;

森崎裕彦 ;

和田宏三 ;

平井悦郎 ;

小林敏郎 ;

加藤光雄 ;

平野龙也 .

中国专利 :CN100363532C ,2005-08-03

[2]

真空蒸镀系统及真空蒸镀方法 [P].

若林雅 ;

加藤升 ;

石泽泰明 .

中国专利 :CN103255375A ,2013-08-21

[3]

真空蒸镀装置用蒸镀源及真空蒸镀方法 [P].

木本孝仁 ;

安田仁 ;

仓内利春 ;

佐藤昌敏 .

日本专利 :CN120898021A ,2025-11-04

[4]

蔡丰豪 .

中国专利 :CN107475675A ,2017-12-15

[5]

真空蒸镀源及使用该真空蒸镀源的真空蒸镀方法 [P].

岡田浩和 ;

范宾 .

中国专利 :CN103643206A ,2014-03-19

[6]

真空蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

匡友元 .

中国专利 :CN103726020B ,2014-04-16

[7]

真空蒸镀装置用蒸镀源 [P].

斋藤修司 .

中国专利 :CN112912534B ,2021-06-04

[8]

真空蒸镀装置用蒸镀源 [P].

斋藤修司 .

中国专利 :CN114836720A ,2022-08-02

[9]

真空蒸镀装置 [P].

金信真理子 ;

藤本英志 ;

大工博之 ;

松本祐司 ;

千住直辉 .

中国专利 :CN105316625B ,2016-02-10

[10]

真空蒸镀装置 [P].

松本祐司 ;

藤本英志 ;

藤本惠美子 ;

大工博之 .

中国专利 :CN203768445U ,2014-08-13

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