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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2011-06-29 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101081910498 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2009101985565 申请日:20091110 |
| 2013-03-13 | 授权 | 授权 |
| 2020-10-30 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/768 申请日:20091110 授权公告日:20130313 终止日期:20191110 |
| 2011-05-11 | 公开 | 公开 |