晶圆盒出货包装检验装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201922456782.0

申请日：

2019-12-30

公开(公告)号：

CN211178562U

公开(公告)日：

2020-08-04

发明(设计)人：

谭孝林瞿丹红曹亚峰

申请人：

申请人地址：

201315 上海市浦东新区良腾路6号

IPC主分类号：

G01D2100

IPC分类号：

G01N2195 A47B3700 A47B1308 A47B9700 B65B5702 B65B5704

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

郭立

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-04	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆盒检验治具 [P].

夏恩波 ;

潘克成 ;

赵厚票 ;

胡民力 .

中国专利 :CN223295638U ,2025-09-02

[2]

晶圆盒包装辅助装置 [P].

张学良 ;

高海林 .

中国专利 :CN202601593U ,2012-12-12

[3]

晶圆盒包装装置 [P].

孙丰 ;

田斌 .

中国专利 :CN220997084U ,2024-05-24

[4]

晶圆盒锁定装置及晶圆盒 [P].

杨文卿 ;

于佩玉 ;

张宁 .

中国专利 :CN220474588U ,2024-02-09

[5]

晶圆盒底盘及晶圆盒 [P].

董健 ;

陈思安 ;

张珏 ;

姚笛 .

中国专利 :CN206976306U ,2018-02-06

[6]

晶圆包装装置、晶圆包装体、晶圆测试设备 [P].

王欣松 .

中国专利 :CN220949106U ,2024-05-14

[7]

扩膜晶圆检验装置 [P].

汪良恩 ;

李建利 ;

汪进 .

中国专利 :CN223712717U ,2025-12-23

[8]

晶圆盒测试装置、晶圆盒监测系统 [P].

吴健健 ;

朱瑜杰 ;

许晓世 .

中国专利 :CN206639779U ,2017-11-14

[9]

晶圆盒载运装置及晶圆盒载运设备 [P].

古伊钧 ;

林祺浩 ;

吕思纬 ;

陈荣哲 ;

蔡佳棋 ;

李旻哲 ;

曹仁杰 .

中国专利 :CN208507641U ,2019-02-15

[10]

邱铭隆 ;

杨宗益 ;

陈延方 .

中国专利 :CN208507640U ,2019-02-15

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