氮化镓结晶的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN98106378.0

申请日：

1998-04-09

公开(公告)号：

CN1202291C

公开(公告)日：

1998-12-30

发明(设计)人：

油利正昭上田哲三马场孝明

申请人：

申请人地址：

日本大阪府

IPC主分类号：

C30B2502

IPC分类号：

C30B2518 C30B2938

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司

代理人：

刘立平

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2005-05-18	授权	授权
2013-06-05	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101467321881 IPC(主分类):C30B 25/02 专利号:ZL981063780 申请日:19980409 授权公告日:20050518 终止日期:20120409
1998-12-30	公开	公开
2000-06-21	实质审查请求的生效	实质审查请求的生效

共 50 条

[1]

氮化镓结晶生长用蓝宝石基板、氮化镓结晶的制造方法及氮化镓结晶 [P].

藤仓序章 ;

今野泰一郎 .

中国专利 :CN103811611A ,2014-05-21

[2]

氮化镓的块状单结晶的制造方法 [P].

罗伯特·德威林斯基 ;

罗曼·多拉辛斯基 ;

哲兹·卡兹尼斯基 ;

莱哲克·西芝普陶斯基 ;

神原康雄 .

中国专利 :CN1260409C ,2003-12-24

[3]

氮化镓单结晶晶片的制造方法 [P].

张海涛 .

中国专利 :CN109411329A ,2019-03-01

[4]

制作氮化镓结晶的方法及氮化镓晶片 [P].

上村智喜 ;

樱田隆 ;

藤原伸介 ;

罔久拓司 ;

上松康二 ;

中幡英章 .

中国专利 :CN101432471A ,2009-05-13

[5]

制造氮化镓衬底的方法 [P].

金美贤 ;

姜三默 ;

金峻渊 ;

卓泳助 ;

朴永洙 .

中国专利 :CN107978659A ,2018-05-01

[6]

氮化镓晶体的制造方法 [P].

油利正昭 ;

上田哲三 ;

马场孝明 .

中国专利 :CN1177655A ,1998-04-01

[7]

氮化镓结晶、13族氮化物结晶、结晶基板、以及它们的制造方法 [P].

南部洋志 ;

岩田浩和 ;

佐藤隆 .

中国专利 :CN102892933A ,2013-01-23

[8]

氮化镓晶体、氮化镓基板及氮化镓晶体的制造方法 [P].

三川丰 ;

栗本浩平 ;

包全喜 .

日本专利 :CN117897521A ,2024-04-16

[9]

氮化镓单晶膜的制造方法 [P].

江风益 ;

王立 ;

李述体 ;

莫春兰 ;

彭学新 ;

熊传兵 ;

李鹏 .

中国专利 :CN1382838A ,2002-12-04

[10]

氮化镓或氮化铝镓层的制造方法 [P].

H·拉尔彻 .

中国专利 :CN101978470B ,2011-02-16

← 1 2 3 4 5 →