硅-金属复合微机械部件及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200880116149.9

申请日：

2008-11-12

公开(公告)号：

CN101861281A

公开(公告)日：

2010-10-13

发明(设计)人：

J-C·法卡布里诺 M·韦拉尔多 T·科尼斯 J-P·蒂埃博 J-B·彼德斯

申请人：

申请人地址：

瑞士勒洛克勒

IPC主分类号：

B81C500

IPC分类号：

C25D100 G04B1300

代理机构：

北京市中咨律师事务所 11247

代理人：

吴鹏;厉锦

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-11-21	授权	授权
2010-12-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101022482126 IPC(主分类):B81C 5/00 专利申请号:2008801161499 申请日:20081112
2010-10-13	公开	公开

共 50 条

[1]

复合微机械部件及其制造方法 [P].

P·卡森 ;

J-P·蒂埃博 .

中国专利 :CN101920928A ,2010-12-22

[2]

微机械部件及微机械部件的制造方法 [P].

A·克尔布尔 ;

J·赖因穆特 ;

J·克拉森 .

中国专利 :CN104276540B ,2015-01-14

[3]

微机械部件和用于微机械部件的制造方法 [P].

J·穆霍 ;

H·格鲁茨埃克 ;

F·恩吉卡姆恩吉蒙齐 ;

Z·莱什詹 ;

S·赖斯 .

中国专利 :CN105143958B ,2015-12-09

[4]

用于微机械部件的制造方法和微机械部件 [P].

S·芬克拜纳 ;

T·皮尔克 ;

C·弗里泽 .

中国专利 :CN102119118A ,2011-07-06

[5]

用于微机械部件的制造方法和微机械部件 [P].

F.霍伊克 ;

C.舍林 ;

M.哈塔斯 ;

B.施密特 .

中国专利 :CN103723675B ,2014-04-16

[6]

用于制造微机械部件的方法和微机械部件 [P].

D·哈贝雷尔 .

中国专利 :CN104843635A ,2015-08-19

[7]

制造微机械部件的方法 [P].

R·丁格 ;

T·拉维内 .

中国专利 :CN101625541A ,2010-01-13

[8]

制造微机械部件的方法 [P].

R·丁格 ;

T·拉维内 .

中国专利 :CN101625542A ,2010-01-13

[9]

制造微机械部件的方法 [P].

J·基哈马基 ;

H·卡特卢斯 .

中国专利 :CN101351400B ,2009-01-21

[10]

微机械部件及其制备方法 [P].

F·森格 ;

S·马拉乌斯卡 ;

U·霍夫曼 ;

G·威尔 ;

F·施瓦兹 .

德国专利 :CN118284838A ,2024-07-02

← 1 2 3 4 5 →