用于硅太阳能电池制造工段PECVD镀膜的气路系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320234181.5

申请日：

2013-05-03

公开(公告)号：

CN203333759U

公开(公告)日：

2013-12-11

发明(设计)人：

郝立辉郭爱军

申请人：

申请人地址：

055550 河北省邢台市宁晋县晶龙大街267号

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

代理机构：

广州知友专利商标代理有限公司 44104

代理人：

李海波

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-12-11	授权	授权

共 50 条

[1]

晶体硅太阳能电池的板式PECVD镀膜的在线吹扫装置 [P].

胡俊涛 ;

勾宪芳 ;

姜利凯 ;

王鹏 ;

曹华斌 ;

宋爱珍 .

中国专利 :CN202610326U ,2012-12-19

[2]

一种晶硅太阳能电池PECVD镀膜工艺 [P].

王树林 ;

李鹏飞 ;

王英杰 .

中国专利 :CN117821933A ,2024-04-05

[3]

晶体硅太阳能电池镀膜设备 [P].

姜言森 ;

张春艳 ;

张丽丽 ;

杜敏 ;

孙继峰 ;

张黎明 ;

刘鹏 ;

李玉花 ;

程亮 ;

任现坤 ;

贾河顺 ;

徐振华 ;

李刚 ;

王兆光 ;

姚增辉 ;

张同星 .

中国专利 :CN202688433U ,2013-01-23

[4]

制造硅太阳能电池的方法 [P].

R·K·克劳斯 ;

G·普非伊费尔 ;

H-J·埃克尔曼 ;

T·穆格 .

中国专利 :CN101939850A ,2011-01-05

[5]

硅太阳能电池的制造方法 [P].

荣延栋 .

中国专利 :CN101764176B ,2010-06-30

[6]

硅太阳能电池的制造方法 [P].

肖青平 .

中国专利 :CN101764175A ,2010-06-30

[7]

一种太阳能电池PECVD镀膜装置 [P].

黄镇 .

中国专利 :CN212894965U ,2021-04-06

[8]

一种用于制备组件晶硅太阳能电池PECVD镀膜工艺 [P].

关统州 .

中国专利 :CN108559976A ,2018-09-21

[9]

一种用于制备组件晶硅太阳能电池PECVD镀膜工艺 [P].

陈金灯 ;

李虎明 .

中国专利 :CN104498908A ,2015-04-08

[10]

新型硅太阳能电池 [P].

夏金才 ;

周体 ;

肖剑峰 ;

黄志林 .

中国专利 :CN203377219U ,2014-01-01

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