一种精密定位平台绝对定位精度的测量及补偿方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410425856.3

申请日：

2014-08-26

公开(公告)号：

CN104199257B

公开(公告)日：

2014-12-10

发明(设计)人：

李香滨

申请人：

申请人地址：

230601 安徽省合肥市经开区锦绣大道68号合肥芯硕半导体有限公司

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F900

代理机构：

安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112

代理人：

余成俊

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-01-07	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101594577073 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2014104258563 申请日:20140826
2022-08-12	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20140826 授权公告日:20160824 终止日期:20210826
2016-08-24	授权	授权
2014-12-10	公开	公开

共 50 条

[1]

一种精密定位平台Yaw值的测量方法 [P].

李香滨 ;

方林 .

中国专利 :CN104820344A ,2015-08-05

[2]

一种精密定位平台动态平面度的测量方法 [P].

陆敏婷 .

中国专利 :CN105241399B ,2016-01-13

[3]

点胶机定位精度测量及补偿方法 [P].

黄雄 .

中国专利 :CN114308560A ,2022-04-12

[4]

机器人绝对定位精度补偿系统及方法 [P].

郝健 ;

封善斋 ;

任立国 .

中国专利 :CN111716355A ,2020-09-29

[5]

一种基于机床定位精度测量的阿贝误差补偿方法及系统 [P].

刘宏伟 ;

杨锐 ;

向华 ;

李波 ;

陈国华 .

中国专利 :CN111338291A ,2020-06-26

[6]

可提高重复定位精度的精密定位平台 [P].

邹双全 ;

阳映军 .

中国专利 :CN216849333U ,2022-06-28

[7]

一种高精度绝对定位系统及其定位方法 [P].

李敬彬 ;

许庆波 ;

郝明国 ;

钱佳 ;

代丽丽 ;

朱隽鸿 .

中国专利 :CN103777176A ,2014-05-07

[8]

六自由度运动平台线位移定位精度测量与误差补偿方法 [P].

周洵轶 ;

孙佳晋 ;

魏亮 ;

赵庆 ;

马建明 ;

钟正虎 .

中国专利 :CN113503813A ,2021-10-15

[9]

精密定位平台Pitch值的测量系统及方法 [P].

李辉 .

中国专利 :CN111912315A ,2020-11-10

[10]

精密定位平台Roll值的测量系统及方法 [P].

李辉 .

中国专利 :CN111912316B ,2020-11-10

← 1 2 3 4 5 →