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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-02-11 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G01B 11/30 变更事项:专利权人 变更前:合肥芯碁微电子装备有限公司 变更后:合肥芯碁微电子装备股份有限公司 变更事项:地址 变更前:230088 安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期H2楼533室 变更后:230088 安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期F3楼11层 |
| 2018-04-10 | 授权 | 授权 |
| 2016-01-13 | 公开 | 公开 |
| 2016-02-10 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101645679214 IPC(主分类):G01B 11/30 专利申请号:2015105707757 申请日:20150909 |