一种精密定位平台Yaw值的测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510149387.1

申请日：

2015-03-31

公开(公告)号：

CN104820344A

公开(公告)日：

2015-08-05

发明(设计)人：

李香滨方林

申请人：

申请人地址：

230601 安徽省合肥市经开区锦绣大道68号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112

代理人：

余成俊

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-01-10	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G03F 7/20 申请公布日:20150805
2015-09-02	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101623407276 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2015101493871 申请日:20150331
2015-08-05	公开	公开

共 50 条

[1]

一种精密定位平台动态平面度的测量方法 [P].

陆敏婷 .

中国专利 :CN105241399B ,2016-01-13

[2]

一种精密定位平台绝对定位精度的测量及补偿方法 [P].

李香滨 .

中国专利 :CN104199257B ,2014-12-10

[3]

精密定位平台Pitch值的测量系统及方法 [P].

李辉 .

中国专利 :CN111912315A ,2020-11-10

[4]

精密定位平台Roll值的测量系统及方法 [P].

李辉 .

中国专利 :CN111912316B ,2020-11-10

[5]

一种离轴角精密测量方法 [P].

张曹祥 ;

潘宝珠 ;

付联效 ;

张福宇 ;

季建成 ;

于忠卫 ;

张圣益 ;

王国铮 ;

杨天宇 .

中国专利 :CN120313876A ,2025-07-15

[6]

微纳操控平台位移及旋转角的精密测量系统及其测量方法 [P].

张蓓 ;

刘雨 ;

高枫 ;

赵子琪 ;

闫鹏 .

中国专利 :CN106931890B ,2017-07-07

[7]

一种转台摆角精密测量方法 [P].

苗二龙 ;

武东城 ;

苏东奇 ;

高松涛 ;

隋永新 ;

杨怀江 .

中国专利 :CN105571527A ,2016-05-11

[8]

一种pH值连续在线测量系统及测量方法 [P].

张薇 ;

张军生 .

中国专利 :CN119023657A ,2024-11-26

[9]

一种测量盘及偏心值测量方法 [P].

陈帮 ;

黄宇恒 .

中国专利 :CN111123653A ,2020-05-08

[10]

一种微小模数齿轮的测量方法 [P].

何宝凤 ;

魏翠娥 ;

石照耀 ;

刘柄显 .

中国专利 :CN107907049A ,2018-04-13

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