晶圆盒、晶圆搬运设备

被引：0

申请号：

CN202220787585.6

申请日：

2022-04-06

公开(公告)号：

CN217788355U

公开(公告)日：

2022-11-11

发明(设计)人：

张原杨青峰潘国瑞崔智敏

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市宝安区福永街道征程二路2号A栋、B栋第一至三层、C栋第一层、D栋

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

H01L21677

代理机构：

广州德科知识产权代理有限公司 44381

代理人：

孙丽丽

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-11-11	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆承托装置、晶圆搬运设备 [P].

龙占勇 ;

李燕清 ;

周亮 ;

王勤勤 .

中国专利 :CN118471894A ,2024-08-09

[2]

晶圆吸附装置及晶圆搬运设备 [P].

曹博旭 ;

张朋 ;

曲征辉 .

中国专利 :CN115410980A ,2022-11-29

[3]

晶圆承载板以及晶圆搬运设备 [P].

付田俊 ;

刘希飞 ;

郑婉婉 .

中国专利 :CN222720366U ,2025-04-04

[4]

一种晶圆物料盒和晶圆物料盒搬运设备 [P].

邢家川 ;

张震 ;

汪世军 ;

李彬 .

中国专利 :CN210913451U ,2020-07-03

[5]

竖向晶圆搬运设备 [P].

廉哲 ;

王勇 ;

谢智寅 ;

唐仁伟 .

中国专利 :CN119252778A ,2025-01-03

[6]

竖向晶圆搬运设备 [P].

廉哲 ;

王勇 ;

谢智寅 ;

唐仁伟 .

中国专利 :CN119252778B ,2025-09-30

[7]

晶圆提篮搬运设备 [P].

石海林 ;

马诗阳 .

中国专利 :CN308969476S ,2024-11-26

[8]

晶圆搬运设备与其方法 [P].

廖致弘 ;

吴晓青 ;

刘俊秀 .

中国专利 :CN110729225B ,2020-01-24

[9]

晶圆盒、晶圆搬运设备及控制方法、电气设备及存储介质 [P].

张原 ;

杨青峰 ;

潘国瑞 ;

崔智敏 ;

韩宁宁 .

中国专利 :CN114864458B ,2025-11-04

[10]

晶圆盒搬运机器人 [P].

黄宗勇 ;

丁凯旋 ;

杨超 .

中国专利 :CN215037510U ,2021-12-07

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