一种晶圆物料盒和晶圆物料盒搬运设备

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201921629311.9
申请日
2019-09-27
公开(公告)号
CN210913451U
公开(公告)日
2020-07-03
发明(设计)人
邢家川 张震 汪世军 李彬
申请人
申请人地址
518038 广东省深圳市福田区福保街道福田保税区桃花路16号
IPC主分类号
B65D2510
IPC分类号
B65G4790
代理机构
广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288
代理人
成婵娟
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
晶圆盒、晶圆搬运设备 [P]. 
张原 ;
杨青峰 ;
潘国瑞 ;
崔智敏 .
中国专利 :CN217788355U ,2022-11-11
[2]
晶圆盒传输机构、晶圆盒存储设备及自动物料搬运系统 [P]. 
赵海龙 ;
张庆 ;
雷雨田 ;
李俊 ;
叶莹 .
中国专利 :CN222146172U ,2024-12-10
[3]
晶圆盒承载装置和晶圆盒搬运机器人 [P]. 
黄宗勇 ;
丁凯旋 ;
杨超 .
中国专利 :CN214624997U ,2021-11-05
[4]
晶圆晶背和晶圆盒同步清洗设备 [P]. 
李宁宁 .
中国专利 :CN221596381U ,2024-08-23
[5]
晶圆盒底盘及晶圆盒 [P]. 
董健 ;
陈思安 ;
张珏 ;
姚笛 .
中国专利 :CN206976306U ,2018-02-06
[6]
晶圆盒 [P]. 
邱铭隆 ;
杨宗益 ;
陈延方 .
中国专利 :CN208507640U ,2019-02-15
[7]
晶圆盒 [P]. 
庄祈龙 ;
许俊 ;
高海林 ;
时寒 .
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[8]
晶圆盒 [P]. 
张学良 ;
高海林 .
中国专利 :CN204011386U ,2014-12-10
[9]
晶圆盒 [P]. 
周欢 ;
石缚凤 .
中国专利 :CN205609491U ,2016-09-28
[10]
晶圆盒 [P]. 
程明星 .
中国专利 :CN223181098U ,2025-08-01