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一种晶圆物料盒和晶圆物料盒搬运设备
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN201921629311.9
申请日
:
2019-09-27
公开(公告)号
:
CN210913451U
公开(公告)日
:
2020-07-03
发明(设计)人
:
邢家川
张震
汪世军
李彬
申请人
:
申请人地址
:
518038 广东省深圳市福田区福保街道福田保税区桃花路16号
IPC主分类号
:
B65D2510
IPC分类号
:
B65G4790
代理机构
:
广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288
代理人
:
成婵娟
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2020-07-03
授权
授权
共 50 条
[1]
晶圆盒、晶圆搬运设备
[P].
张原
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张原
;
杨青峰
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杨青峰
;
潘国瑞
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潘国瑞
;
崔智敏
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崔智敏
.
中国专利
:CN217788355U
,2022-11-11
[2]
晶圆盒传输机构、晶圆盒存储设备及自动物料搬运系统
[P].
赵海龙
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机构:
上海果纳半导体技术有限公司
上海果纳半导体技术有限公司
赵海龙
;
张庆
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机构:
上海果纳半导体技术有限公司
上海果纳半导体技术有限公司
张庆
;
雷雨田
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机构:
上海果纳半导体技术有限公司
上海果纳半导体技术有限公司
雷雨田
;
李俊
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机构:
上海果纳半导体技术有限公司
上海果纳半导体技术有限公司
李俊
;
叶莹
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机构:
上海果纳半导体技术有限公司
上海果纳半导体技术有限公司
叶莹
.
中国专利
:CN222146172U
,2024-12-10
[3]
晶圆盒承载装置和晶圆盒搬运机器人
[P].
黄宗勇
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黄宗勇
;
丁凯旋
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丁凯旋
;
杨超
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杨超
.
中国专利
:CN214624997U
,2021-11-05
[4]
晶圆晶背和晶圆盒同步清洗设备
[P].
李宁宁
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机构:
芯恩(青岛)集成电路有限公司
芯恩(青岛)集成电路有限公司
李宁宁
.
中国专利
:CN221596381U
,2024-08-23
[5]
晶圆盒底盘及晶圆盒
[P].
董健
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董健
;
陈思安
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陈思安
;
张珏
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张珏
;
姚笛
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姚笛
.
中国专利
:CN206976306U
,2018-02-06
[6]
晶圆盒
[P].
邱铭隆
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邱铭隆
;
杨宗益
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杨宗益
;
陈延方
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陈延方
.
中国专利
:CN208507640U
,2019-02-15
[7]
晶圆盒
[P].
庄祈龙
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庄祈龙
;
许俊
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许俊
;
高海林
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高海林
;
时寒
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时寒
.
中国专利
:CN201323191Y
,2009-10-07
[8]
晶圆盒
[P].
张学良
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张学良
;
高海林
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高海林
.
中国专利
:CN204011386U
,2014-12-10
[9]
晶圆盒
[P].
周欢
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周欢
;
石缚凤
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石缚凤
.
中国专利
:CN205609491U
,2016-09-28
[10]
晶圆盒
[P].
程明星
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机构:
深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司
深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司
程明星
.
中国专利
:CN223181098U
,2025-08-01
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