晶圆盒传输机构、晶圆盒存储设备及自动物料搬运系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422640143.0

申请日：

2024-10-31

公开(公告)号：

CN222146172U

公开(公告)日：

2024-12-10

发明(设计)人：

赵海龙张庆雷雨田李俊叶莹

申请人：

上海果纳半导体技术有限公司

申请人地址：

200120 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区博艺路99号、111号6幢1层101室

IPC主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

代理机构：

苏州汇诚汇智专利代理事务所(普通合伙) 32623

代理人：

顾品荧

法律状态：

授权

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-10	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆盒存储系统、方法以及自动物料搬运系统 [P].

张永盛 .

中国专利 :CN120637288A ,2025-09-12

[2]

晶圆盒传输机构、存储设备及传输方法 [P].

赵海龙 ;

张庆 ;

雷雨田 ;

李俊 ;

叶莹 .

中国专利 :CN119050028B ,2025-01-07

[3]

晶圆盒传输机构、存储设备及传输方法 [P].

赵海龙 ;

张庆 ;

雷雨田 ;

李俊 ;

叶莹 .

中国专利 :CN119050028A ,2024-11-29

[4]

一种晶圆物料盒和晶圆物料盒搬运设备 [P].

邢家川 ;

张震 ;

汪世军 ;

李彬 .

中国专利 :CN210913451U ,2020-07-03

[5]

晶圆盒传输设备 [P].

薛强 ;

刘世振 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN209496832U ,2019-10-15

[6]

晶圆盒传输系统 [P].

朱玉东 ;

何海龙 ;

韩磊 ;

姚东东 .

中国专利 :CN222472516U ,2025-02-14

[7]

晶圆传输盒 [P].

肖志坚 ;

吕秋玲 ;

杨洪春 ;

杨斌 .

中国专利 :CN201163617Y ,2008-12-10

[8]

晶圆盒底盘及晶圆盒 [P].

董健 ;

陈思安 ;

张珏 ;

姚笛 .

中国专利 :CN206976306U ,2018-02-06

[9]

晶圆盒搬运装置、设备及系统 [P].

潘心宇 ;

张弢 ;

罗邵丹 ;

陈炜越 .

中国专利 :CN216213317U ,2022-04-05

[10]

晶圆盒存储设备 [P].

曹旭东 ;

张晓鹏 ;

曹海霞 ;

严翔 .

中国专利 :CN119262641A ,2025-01-07

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