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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-02-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101395921306 IPC(主分类):H01L 21/22 专利申请号:2012800011471 申请日:20120201 |
| 2019-03-22 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/22 登记生效日:20190304 变更事项:专利权人 变更前权利人:东京毅力科创株式会社 变更后权利人:东京毅力科创株式会社 变更事项:地址 变更前权利人:日本东京都 变更后权利人:日本东京都 变更事项:共同专利权人 变更前权利人:三井易艾斯控股有限公司 变更后权利人:三井易艾斯机械有限公司 |
| 2015-04-08 | 授权 | 授权 |
| 2013-01-02 | 公开 | 公开 |
| 2019-03-22 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/22 变更事项:专利权人 变更前:东京毅力科创株式会社 变更后:东京毅力科创株式会社 变更事项:地址 变更前:日本东京都 变更后:日本东京都 变更事项:共同专利权人 变更前:三井造船株式会社 变更后:三井易艾斯控股有限公司 |