热处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200980114031.7

申请日：

2009-06-25

公开(公告)号：

CN102017078A

公开(公告)日：

2011-04-13

发明(设计)人：

米永富广河野有美子

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

H01L21205

IPC分类号：

C23C1646 H01L2122 H01L2131 H01L21324

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-06-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101074692131 IPC(主分类):H01L 21/205 专利申请号:2009801140317 申请日:20090625
2011-04-13	公开	公开
2012-10-31	授权	授权
2022-06-03	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/205 申请日:20090625 授权公告日:20121031 终止日期:20210625

共 50 条

[1]

热处理装置 [P].

米永富广 ;

河野有美子 ;

内田直喜 ;

尾崎一博 .

中国专利 :CN102859657A ,2013-01-02

[2]

热处理方法和热处理装置 [P].

牧谷敏幸 ;

斋藤孝规 ;

滝泽刚 ;

爱库曼香留树 .

中国专利 :CN100477086C ,2005-09-14

[3]

热处理装置 [P].

牧谷敏幸 ;

斋藤孝规 ;

泷泽刚 ;

艾克曼香留树 .

中国专利 :CN2591770Y ,2003-12-10

[4]

高周波热处理装置 [P].

蒲宏彦 .

中国专利 :CN103866096B ,2014-06-18

[5]

热处理装置以及热处理方法 [P].

胜俣和彦 .

中国专利 :CN102378891A ,2012-03-14

[6]

热处理方法以及热处理装置 [P].

青山敬幸 ;

河原崎光 ;

古川雅志 ;

加藤慎一 ;

布施和彦 ;

谷村英昭 .

中国专利 :CN106486397A ,2017-03-08

[7]

热处理方法以及热处理装置 [P].

谷村英昭 ;

布施和彦 .

中国专利 :CN106340451A ,2017-01-18

[8]

热处理方法以及热处理装置 [P].

中谷淳司 .

日本专利 :CN117983597A ,2024-05-07

[9]

热处理装置以及热处理方法 [P].

吉井弘治 ;

山口达也 ;

王文凌 ;

斋藤孝规 .

中国专利 :CN102737988A ,2012-10-17

[10]

热处理方法及热处理装置 [P].

池田真一 .

中国专利 :CN111146114A ,2020-05-12

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