一种新型的扩散炉进炉舟架

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120810086.X

申请日：

2021-04-20

公开(公告)号：

CN214937971U

公开(公告)日：

2021-11-30

发明(设计)人：

张婷婷范晓波何杉

申请人：

申请人地址：

710077 陕西省西安市高新区锦业二路13号

IPC主分类号：

C30B3114

IPC分类号：

C30B2906 H01L21673

代理机构：

西安文盛专利代理有限公司 61100

代理人：

彭冬英

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-30	授权	授权

共 50 条

[1]

防止掉舟的新型扩散炉 [P].

钟清海 .

中国专利 :CN207268575U ,2018-04-24

[2]

基于扩散炉的新型石英舟抓手 [P].

钟清海 .

中国专利 :CN207233764U ,2018-04-13

[3]

一种扩散炉舟头 [P].

郭兴刚 ;

夏勇兵 ;

钱昆 ;

王秀鹏 .

中国专利 :CN203068974U ,2013-07-17

[4]

扩散炉进气结构及扩散炉 [P].

梁笑 ;

毛文龙 ;

祁文杰 ;

翟俊 ;

高晓畅 .

中国专利 :CN217869195U ,2022-11-22

[5]

一种扩散炉用的石英舟 [P].

俞聪聪 .

中国专利 :CN213424947U ,2021-06-11

[6]

一种扩散炉的石英舟抓手 [P].

秦彬 .

中国专利 :CN213424958U ,2021-06-11

[7]

一种扩散炉用的石英舟 [P].

汤芳 ;

常永喜 ;

张勇 ;

孙秋谨 .

中国专利 :CN221797748U ,2024-10-01

[8]

垂直扩散炉的舟 [P].

梁钟文 ;

权正焕 ;

金相云 ;

朴忠培 .

中国专利 :CN1109355C ,1997-07-30

[9]

一种扩散炉石英舟结构 [P].

杨宝立 ;

周湘源 ;

张勇 .

中国专利 :CN205789905U ,2016-12-07

[10]

用于扩散炉的载片舟 [P].

曹仲华 ;

高建 ;

严教辉 .

中国专利 :CN220829938U ,2024-04-23

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