化学机械抛光用的带凸缘夹持环

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200520142378.1

申请日：

2003-05-29

公开(公告)号：

CN2841244Y

公开(公告)日：

2006-11-29

发明(设计)人：

D·A·马罗 M-K·曾

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

B24B2902

IPC分类号：

代理机构：

北京纪凯知识产权代理有限公司

代理人：

赵蓉民

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-07-17	专利权的终止	专利权有效期届满号牌文件类型代码:1611 号牌文件序号:101490322949 IPC(主分类):B24B 29/02 专利号:ZL2005201423781 申请日:20030529 授权公告日:20061129 期满终止日期:20130529
2006-11-29	授权	授权

共 50 条

[1]

化学机械抛光用的带凸缘夹持环 [P].

D·A·马罗 ;

M-K·曾 .

中国专利 :CN2760754Y ,2006-02-22

[2]

化学机械抛光用的化学改性抛光垫 [P].

Y·李 ;

S·D·希尔林 ;

J·凯勒赫尔 ;

T·张 .

中国专利 :CN101232970A ,2008-07-30

[3]

化学机械抛光用浆料 [P].

崔银美 ;

申东穆 ;

曹升范 .

中国专利 :CN102414293B ,2012-04-11

[4]

化学机械抛光用抛光垫的制备方法 [P].

陈平 ;

李俊燕 ;

康仁科 .

中国专利 :CN1739915A ,2006-03-01

[5]

化学机械抛光装置及用于化学机械抛光装置的固定环 [P].

林政锜 ;

沈稘翔 ;

侯德谦 ;

张棠贵 ;

刘啟人 ;

黃惠琪 ;

陈科维 .

中国专利 :CN222289771U ,2025-01-03

[6]

化学机械抛光装置和化学机械抛光方法 [P].

铃木三惠子 ;

土屋泰章 .

中国专利 :CN1098746C ,1999-09-01

[7]

化学机械抛光用的多层扣环 [P].

J·王 ;

S·M·祖尼加 .

中国专利 :CN1169654C ,2003-07-16

[8]

铂化学机械抛光用的溶液 [P].

李宇镇 .

中国专利 :CN1475604A ,2004-02-18

[9]

化学机械抛光用的游星轮 [P].

黄荣燕 .

中国专利 :CN206464976U ,2017-09-05

[10]

化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P].

朱慧珑 ;

钟汇才 ;

梁擎擎 ;

赵超 .

中国专利 :CN102756323A ,2012-10-31

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