一种晶圆切割机切割液监控装置及晶圆切割系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921823180.8

申请日：

2019-10-28

公开(公告)号：

CN210272282U

公开(公告)日：

2020-04-07

发明(设计)人：

赵刚

申请人：

申请人地址：

215123 江苏省苏州市苏州工业园区方洲路183号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

B28D500 B28D700

代理机构：

北京华夏博通专利事务所(普通合伙) 11264

代理人：

刘俊

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-04-07	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆切割机 [P].

王国章 .

中国专利 :CN213005962U ,2021-04-20

[2]

晶圆切割机 [P].

魏余红 ;

谭将强 .

中国专利 :CN115122516A ,2022-09-30

[3]

晶圆切割机 [P].

童灿钊 ;

李迁 ;

刘航 ;

刘佳鑫 ;

刘盛 ;

赵冬冬 ;

文洪 ;

巫礼杰 ;

高云峰 .

中国专利 :CN307267087S ,2022-04-15

[4]

晶圆切割机 [P].

杨云龙 ;

胡章坤 ;

于光明 ;

吴赢杰 .

中国专利 :CN304992956S ,2019-01-11

[5]

一种晶圆切割机料框夹持装置及晶圆切割机 [P].

路崧 ;

王瑾 ;

曹锋 ;

刘育明 ;

李剑锋 ;

周成全 ;

刘正锋 ;

高云峰 .

中国专利 :CN211662379U ,2020-10-13

[6]

一种晶圆切割机除水装置及其晶圆切割机 [P].

刘剑 ;

汤开荣 .

中国专利 :CN210190199U ,2020-03-27

[7]

晶圆抓取装置及晶圆切割机 [P].

施心星 .

中国专利 :CN214605233U ,2021-11-05

[8]

激光晶圆切割机 [P].

丁波 ;

李轶 .

中国专利 :CN203751536U ,2014-08-06

[9]

晶圆切割机及晶圆切割机的使用方法 [P].

曹斌 .

中国专利 :CN111376400A ,2020-07-07

[10]

晶圆切割机(双轴全自动晶圆切割机) [P].

魏余红 ;

谭将强 .

中国专利 :CN308415105S ,2024-01-09

← 1 2 3 4 5 →