一种微纳米级台阶高度样板及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910973824.X

申请日：

2019-10-14

公开(公告)号：

CN112723297A

公开(公告)日：

2021-04-30

发明(设计)人：

王云祥黄红平刘娟郭郑来

申请人：

申请人地址：

215128 江苏省苏州市吴中区文曲路69号

IPC主分类号：

B81B100

IPC分类号：

B81C100 B81C9900 G01B1127 G01B1130

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

郝传鑫;贾允

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-30	公开	公开
2021-05-21	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B81B 1/00 申请日:20191014

共 50 条

[1]

一种在线校准晶圆微纳米台阶高度标准样板及其循迹方法 [P].

王琛英 ;

张雅馨 ;

蒋庄德 ;

景蔚萱 ;

林启敬 ;

刘明 ;

张易军 ;

韩枫 ;

毛琦 ;

王松 ;

杨亚威 .

中国专利 :CN110793433A ,2020-02-14

[2]

一种纳米多台阶高度样板的制备方法 [P].

景蔚萱 ;

蒋庄德 ;

赵凤霞 ;

朱明智 ;

韩国强 .

中国专利 :CN100408970C ,2007-02-28

[3]

一种微纳米台阶标准样板及其循迹方法 [P].

曲金成 ;

蔡潇雨 ;

魏佳斯 ;

李源 ;

雷李华 ;

赵军 .

中国专利 :CN106931916A ,2017-07-07

[4]

一种微纳米级Au花及其制备方法 [P].

程琳 ;

刘爱萍 ;

陈方 ;

陈伊楠 ;

田俊 .

中国专利 :CN108671915B ,2018-10-19

[5]

微纳米级气液混合制备装置及微纳米级气泡的制备方法 [P].

张晓静 ;

屠学波 ;

李永华 ;

陈小龙 ;

常辉 .

中国专利 :CN112691562B ,2021-04-23

[6]

一种微纳米级造粒制备方法 [P].

杨宗鑫 ;

林元奎 ;

周敏 .

中国专利 :CN108160000B ,2018-06-15

[7]

一种微纳米级固体酸的制备方法 [P].

李云军 .

中国专利 :CN108940320A ,2018-12-07

[8]

一种校准用纳米级台阶标准样品的制备方法 [P].

董国材 ;

李金龙 .

中国专利 :CN104101736A ,2014-10-15

[9]

一种微纳米级光学烫金方法 [P].

王翔 ;

莫正戎 ;

崔凤 ;

辛佳伟 ;

赵海兵 .

中国专利 :CN113910822A ,2022-01-11

[10]

一种微纳米级TiCN粉体及其制备方法与应用 [P].

张彦涛 .

中国专利 :CN110980667A ,2020-04-10

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