一种微纳米台阶标准样板及其循迹方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710130912.4

申请日：

2017-03-07

公开(公告)号：

CN106931916A

公开(公告)日：

2017-07-07

发明(设计)人：

曲金成蔡潇雨魏佳斯李源雷李华赵军

申请人：

申请人地址：

310018 浙江省杭州市下沙高教园区学源街258号

IPC主分类号：

G01B1500

IPC分类号：

G01Q4002

代理机构：

上海浦东良风专利代理有限责任公司 31113

代理人：

龚英

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-07-07	公开	公开
2017-08-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101738373201 IPC(主分类):G01B 15/00 专利申请号:2017101309124 申请日:20170307
2019-08-23	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01B 15/00 申请公布日:20170707

共 50 条

[1]

一种微纳米标准样板及其循迹方法 [P].

雷李华 ;

邵力 ;

李源 ;

魏佳斯 ;

蔡潇雨 ;

傅云霞 ;

张波 .

中国专利 :CN105865389A ,2016-08-17

[2]

一种在线校准晶圆微纳米台阶高度标准样板及其循迹方法 [P].

王琛英 ;

张雅馨 ;

蒋庄德 ;

景蔚萱 ;

林启敬 ;

刘明 ;

张易军 ;

韩枫 ;

毛琦 ;

王松 ;

杨亚威 .

中国专利 :CN110793433A ,2020-02-14

[3]

一种微纳米标准样板 [P].

雷李华 ;

邵力 ;

李源 ;

魏佳斯 ;

蔡潇雨 ;

傅云霞 ;

张波 .

中国专利 :CN205748332U ,2016-11-30

[4]

一种微纳米级台阶高度样板及其制备方法 [P].

王云祥 ;

黄红平 ;

刘娟 ;

郭郑来 .

中国专利 :CN112723297A ,2021-04-30

[5]

一种工程计量用可循迹多参数校准的微纳米标准样板 [P].

朱敏 ;

董传金 .

中国专利 :CN213874039U ,2021-08-03

[6]

一种校准用纳米几何量标准样板及其制备方法 [P].

王琛英 ;

蒋庄德 ;

林启敬 ;

李磊 ;

刘明 ;

张易军 ;

韩枫 .

中国专利 :CN110054150A ,2019-07-26

[7]

一种复合型微纳米高深宽比沟槽标准样板 [P].

雷李华 ;

傅云霞 ;

管钰晴 ;

曾燕华 ;

杜黎明 ;

唐冬梅 ;

邹文哲 .

中国专利 :CN216846167U ,2022-06-28

[8]

一种校准用纳米级台阶标准样品的制备方法 [P].

董国材 ;

李金龙 .

中国专利 :CN104101736A ,2014-10-15

[9]

一种微纳米马达及其制备方法 [P].

韩彩芹 ;

赵奕平 ;

姚悦 ;

王洪峰 .

中国专利 :CN106756813A ,2017-05-31

[10]

一种TiAlSiCN微纳米涂层及其制备方法 [P].

张而耕 ;

王海洋 ;

陈强 ;

黄彪 ;

周琼 .

中国专利 :CN112941470A ,2021-06-11

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