一种微纳米标准样板

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201620552831.4

申请日：

2016-06-08

公开(公告)号：

CN205748332U

公开(公告)日：

2016-11-30

发明(设计)人：

雷李华邵力李源魏佳斯蔡潇雨傅云霞张波

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张衡路1500号

IPC主分类号：

G01B2104

IPC分类号：

代理机构：

上海浦东良风专利代理有限责任公司 31113

代理人：

陈志良

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-11-30	授权	授权

共 50 条

[1]

一种微纳米标准样板及其循迹方法 [P].

雷李华 ;

邵力 ;

李源 ;

魏佳斯 ;

蔡潇雨 ;

傅云霞 ;

张波 .

中国专利 :CN105865389A ,2016-08-17

[2]

一种微纳米台阶标准样板及其循迹方法 [P].

曲金成 ;

蔡潇雨 ;

魏佳斯 ;

李源 ;

雷李华 ;

赵军 .

中国专利 :CN106931916A ,2017-07-07

[3]

一种复合型微纳米高深宽比沟槽标准样板 [P].

雷李华 ;

傅云霞 ;

管钰晴 ;

曾燕华 ;

杜黎明 ;

唐冬梅 ;

邹文哲 .

中国专利 :CN216846167U ,2022-06-28

[4]

一种工程计量用可循迹多参数校准的微纳米标准样板 [P].

朱敏 ;

董传金 .

中国专利 :CN213874039U ,2021-08-03

[5]

一种亚表面多参数纳米标准样板 [P].

吴俊杰 ;

魏佳斯 ;

蔡潇雨 ;

李源 ;

孙恺欣 ;

周勇 .

中国专利 :CN218481428U ,2023-02-14

[6]

一种复合型纳米膜厚标准样板 [P].

雷李华 ;

管钰晴 ;

傅云霞 ;

曾燕华 ;

杜黎明 ;

唐冬梅 ;

邹文哲 .

中国专利 :CN215261700U ,2021-12-21

[7]

一种在线校准晶圆微纳米台阶高度标准样板及其循迹方法 [P].

王琛英 ;

张雅馨 ;

蒋庄德 ;

景蔚萱 ;

林启敬 ;

刘明 ;

张易军 ;

韩枫 ;

毛琦 ;

王松 ;

杨亚威 .

中国专利 :CN110793433A ,2020-02-14

[8]

标准冲孔样板 [P].

孙建新 ;

陈炜 ;

包玲 .

中国专利 :CN204412882U ,2015-06-24

[9]

一种可循迹多尺寸纳米膜厚标准样板 [P].

管钰晴 ;

傅云霞 ;

雷李华 ;

曾燕华 ;

杜黎明 ;

唐冬梅 ;

邹文哲 .

中国专利 :CN216791112U ,2022-06-21

[10]

一种校准用纳米几何量标准样板及其制备方法 [P].

王琛英 ;

蒋庄德 ;

林启敬 ;

李磊 ;

刘明 ;

张易军 ;

韩枫 .

中国专利 :CN110054150A ,2019-07-26

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