一种在线校准晶圆微纳米台阶高度标准样板及其循迹方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910920159.8

申请日：

2019-09-26

公开(公告)号：

CN110793433A

公开(公告)日：

2020-02-14

发明(设计)人：

王琛英张雅馨蒋庄德景蔚萱林启敬刘明张易军韩枫毛琦王松杨亚威

申请人：

申请人地址：

710049 陕西省西安市咸宁西路28号

IPC主分类号：

G01B1100

IPC分类号：

代理机构：

西安通大专利代理有限责任公司 61200

代理人：

张海平

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-19	授权	授权
2020-03-10	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/00 申请日:20190926
2020-02-14	公开	公开

共 50 条

[1]

一种微纳米台阶标准样板及其循迹方法 [P].

曲金成 ;

蔡潇雨 ;

魏佳斯 ;

李源 ;

雷李华 ;

赵军 .

中国专利 :CN106931916A ,2017-07-07

[2]

一种微纳米标准样板及其循迹方法 [P].

雷李华 ;

邵力 ;

李源 ;

魏佳斯 ;

蔡潇雨 ;

傅云霞 ;

张波 .

中国专利 :CN105865389A ,2016-08-17

[3]

一种微纳米级台阶高度样板及其制备方法 [P].

王云祥 ;

黄红平 ;

刘娟 ;

郭郑来 .

中国专利 :CN112723297A ,2021-04-30

[4]

一种纳米多台阶高度样板的制备方法 [P].

景蔚萱 ;

蒋庄德 ;

赵凤霞 ;

朱明智 ;

韩国强 .

中国专利 :CN100408970C ,2007-02-28

[5]

一种包含多种校准类型的晶圆标准样板 [P].

蒋庄德 ;

张雅馨 ;

王琛英 ;

景蔚萱 ;

林启敬 ;

张易军 ;

张亮亮 ;

高崐 ;

李磊 ;

毛琦 ;

王松 ;

牛忠楠 .

中国专利 :CN213750299U ,2021-07-20

[6]

一种包含多种校准类型的晶圆标准样板及其制作方法 [P].

蒋庄德 ;

张雅馨 ;

王琛英 ;

景蔚萱 ;

林启敬 ;

张易军 ;

张亮亮 ;

高崐 ;

李磊 ;

毛琦 ;

王松 ;

牛忠楠 .

中国专利 :CN112114285A ,2020-12-22

[7]

一种工程计量用可循迹多参数校准的微纳米标准样板 [P].

朱敏 ;

董传金 .

中国专利 :CN213874039U ,2021-08-03

[8]

一种微纳米标准样板 [P].

雷李华 ;

邵力 ;

李源 ;

魏佳斯 ;

蔡潇雨 ;

傅云霞 ;

张波 .

中国专利 :CN205748332U ,2016-11-30

[9]

一种纳米测量仪器校准用标准样板及其制备方法 [P].

杨亚威 ;

王琛英 ;

蒋庄德 ;

景蔚萱 ;

林启敬 ;

刘明 ;

张易军 ;

毛琦 ;

王松 ;

张雅馨 .

中国专利 :CN110646639A ,2020-01-03

[10]

一种校准用纳米几何量标准样板及其制备方法 [P].

王琛英 ;

蒋庄德 ;

林启敬 ;

李磊 ;

刘明 ;

张易军 ;

韩枫 .

中国专利 :CN110054150A ,2019-07-26

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