一种包含多种校准类型的晶圆标准样板及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011039583.0

申请日：

2020-09-28

公开(公告)号：

CN112114285A

公开(公告)日：

2020-12-22

发明(设计)人：

蒋庄德张雅馨王琛英景蔚萱林启敬张易军张亮亮高崐李磊毛琦王松牛忠楠

申请人：

申请人地址：

710049 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号

IPC主分类号：

G01R3500

IPC分类号：

G03F720

代理机构：

北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319

代理人：

苟冬梅

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-01-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 35/00 申请日:20200928
2020-12-22	公开	公开

共 50 条

[1]

一种包含多种校准类型的晶圆标准样板 [P].

蒋庄德 ;

张雅馨 ;

王琛英 ;

景蔚萱 ;

林启敬 ;

张易军 ;

张亮亮 ;

高崐 ;

李磊 ;

毛琦 ;

王松 ;

牛忠楠 .

中国专利 :CN213750299U ,2021-07-20

[2]

一种在线校准晶圆微纳米台阶高度标准样板及其循迹方法 [P].

王琛英 ;

张雅馨 ;

蒋庄德 ;

景蔚萱 ;

林启敬 ;

刘明 ;

张易军 ;

韩枫 ;

毛琦 ;

王松 ;

杨亚威 .

中国专利 :CN110793433A ,2020-02-14

[3]

一种校准用纳米几何量标准样板及其制备方法 [P].

王琛英 ;

蒋庄德 ;

林启敬 ;

李磊 ;

刘明 ;

张易军 ;

韩枫 .

中国专利 :CN110054150A ,2019-07-26

[4]

一种纳米测量仪器校准用标准样板及其制备方法 [P].

杨亚威 ;

王琛英 ;

蒋庄德 ;

景蔚萱 ;

林启敬 ;

刘明 ;

张易军 ;

毛琦 ;

王松 ;

张雅馨 .

中国专利 :CN110646639A ,2020-01-03

[5]

一种晶圆级计量标准器及其制备方法 [P].

饶张飞 ;

秦凯亮 ;

金红霞 .

中国专利 :CN112881960A ,2021-06-01

[6]

一种微纳米标准样板及其循迹方法 [P].

雷李华 ;

邵力 ;

李源 ;

魏佳斯 ;

蔡潇雨 ;

傅云霞 ;

张波 .

中国专利 :CN105865389A ,2016-08-17

[7]

一种微纳米台阶标准样板及其循迹方法 [P].

曲金成 ;

蔡潇雨 ;

魏佳斯 ;

李源 ;

雷李华 ;

赵军 .

中国专利 :CN106931916A ,2017-07-07

[8]

一种亚表面多参数纳米标准样板及其制备方法 [P].

吴俊杰 ;

魏佳斯 ;

蔡潇雨 ;

李源 ;

孙恺欣 ;

周勇 .

中国专利 :CN115372368A ,2022-11-22

[9]

一种工程计量用可循迹多参数校准的微纳米标准样板 [P].

朱敏 ;

董传金 .

中国专利 :CN213874039U ,2021-08-03

[10]

一种晶圆加工的标定方法和装置 [P].

孙菁阳 ;

曹思明 ;

朱亮 ;

王宁银 ;

潘斌 .

中国专利 :CN120926913A ,2025-11-11

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