镶嵌式溅射靶材

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520047309.6

申请日：

2015-01-23

公开(公告)号：

CN204738019U

公开(公告)日：

2015-11-04

发明(设计)人：

宋爱谋钟小亮

申请人：

申请人地址：

255100 山东省淄博市文昌湖旅游度假区商家镇

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

代理机构：

青岛发思特专利商标代理有限公司 37212

代理人：

马俊荣

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-11-04	授权	授权

共 50 条

[1]

溅射靶材 [P].

原範明 ;

枪田聪明 ;

松坂律也 ;

荻原谦 ;

高桥光弥 ;

铃木弘章 .

中国专利 :CN1534110A ,2004-10-06

[2]

异形溅射靶材 [P].

郜锋 .

中国专利 :CN215251137U ,2021-12-21

[3]

溅射靶材 [P].

长谷川浩一 ;

石井信雄 ;

朝木知美 .

中国专利 :CN1217028C ,2003-11-26

[4]

溅射靶材 [P].

长谷川浩之 ;

松原庆明 .

中国专利 :CN107735504B ,2018-02-23

[5]

溅射靶材 [P].

福岛英子 ;

上坂修治郎 ;

玉田悠 .

中国专利 :CN105385995A ,2016-03-09

[6]

溅射靶材 [P].

长谷川浩一 ;

石井信雄 .

中国专利 :CN1867693B ,2006-11-22

[7]

溅射靶材 [P].

玉田悠 ;

齐藤和也 ;

上坂修治郎 ;

熊谷友正 .

中国专利 :CN106868459B ,2017-06-20

[8]

溅射靶材 [P].

E.Y.伊瓦诺夫 ;

A.莱波维克 ;

J.里泽 .

中国专利 :CN102844460A ,2012-12-26

[9]

溅射靶材以及由该溅射靶材所得的溅射靶 [P].

松前和男 .

中国专利 :CN101631893A ,2010-01-20

[10]

溅射靶材 [P].

长谷川浩之 ;

新村梦树 .

中国专利 :CN109072419B ,2018-12-21

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