沟槽的形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810114312.X

申请日：

2008-06-03

公开(公告)号：

CN101599419B

公开(公告)日：

2009-12-09

发明(设计)人：

杨芸洪中山

申请人：

申请人地址：

100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道18号

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

H01L2102 H01L21311 H01L21768

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

李丽

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-10-05	授权	授权
2009-12-09	公开	公开
2010-02-03	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

沟槽形成方法 [P].

张海洋 ;

孙武 ;

尹晓明 .

中国专利 :CN102087993A ,2011-06-08

[2]

浅沟槽形成方法 [P].

赵林林 .

中国专利 :CN101740373A ,2010-06-16

[3]

沟槽的形成方法 [P].

崔基雄 ;

高建峰 ;

孔真真 ;

刘卫兵 ;

王桂磊 .

中国专利 :CN115084002A ,2022-09-20

[4]

沟槽的形成方法 [P].

周鸣 ;

尹晓明 .

中国专利 :CN101587837A ,2009-11-25

[5]

沟槽的形成方法 [P].

李凡 ;

洪中山 .

中国专利 :CN102214567B ,2011-10-12

[6]

沟槽阵列的形成方法 [P].

李凡 .

中国专利 :CN102122635A ,2011-07-13

[7]

浅沟槽形成方法 [P].

赵林林 .

中国专利 :CN101752286B ,2010-06-23

[8]

沟槽的形成方法 [P].

毛宇浩 ;

廖军 .

中国专利 :CN115602538A ,2023-01-13

[9]

沟槽的形成方法 [P].

王新鹏 .

中国专利 :CN104124194B ,2014-10-29

[10]

沟槽的形成方法 [P].

张海洋 ;

孙武 ;

尹晓明 .

中国专利 :CN102044482A ,2011-05-04

← 1 2 3 4 5 →