沟槽的形成方法

被引：0

申请号：

CN202110271228.4

申请日：

2021-03-12

公开(公告)号：

CN115084002A

公开(公告)日：

2022-09-20

发明(设计)人：

崔基雄高建峰孔真真刘卫兵王桂磊

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L21308 H01L27108

代理机构：

北京辰权知识产权代理有限公司 11619

代理人：

王志红

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-20	公开	公开

共 50 条

[1]

一种深沟槽隔离结构的形成方法 [P].

郭哲劭 ;

林智伟 .

中国专利 :CN117976683A ,2024-05-03

[2]

沟槽的形成方法 [P].

王新鹏 .

中国专利 :CN104124194B ,2014-10-29

[3]

沟槽的形成方法 [P].

周鸣 ;

尹晓明 .

中国专利 :CN101587837A ,2009-11-25

[4]

沟槽的形成方法 [P].

张海洋 ;

胡敏达 .

中国专利 :CN103377991B ,2013-10-30

[5]

沟槽的形成方法 [P].

杨芸 ;

洪中山 .

中国专利 :CN101599419B ,2009-12-09

[6]

沟槽的形成方法 [P].

李凡 ;

洪中山 .

中国专利 :CN102214567B ,2011-10-12

[7]

沟槽的形成方法 [P].

符雅丽 ;

张海洋 ;

王新鹏 ;

孙武 .

中国专利 :CN101826486A ,2010-09-08

[8]

浅沟槽隔离的形成方法 [P].

何有丰 ;

白杰 ;

朴松源 .

中国专利 :CN101207063A ,2008-06-25

[9]

沟槽形成方法 [P].

张海洋 ;

孙武 ;

尹晓明 .

中国专利 :CN102087993A ,2011-06-08

[10]

有源区的形成方法和STI沟槽的形成方法 [P].

肖玉洁 ;

朱旋 ;

李健 ;

杨兆宇 ;

李丽丽 .

中国专利 :CN102738058B ,2012-10-17

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