用于形成蚀刻掩模的玻璃基板的前处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510882811.3

申请日：

2015-12-03

公开(公告)号：

CN105676601A

公开(公告)日：

2016-06-15

发明(设计)人：

植松照博田上胜弥

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

G03F738

IPC分类号：

C03C2300

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

杨宏军;王大方

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-12-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/38 申请日:20151203
2016-06-15	公开	公开
2020-08-07	授权	授权

共 50 条

[1]

用于形成蚀刻掩模的玻璃基板的前处理方法 [P].

植松照博 .

中国专利 :CN104909581A ,2015-09-16

[2]

玻璃基板的蚀刻处理方法 [P].

西条佳孝 ;

铃木祐一 ;

秋山良司 ;

竹中敦义 ;

加濑准一郎 .

中国专利 :CN101868428A ,2010-10-20

[3]

形成光掩模的玻璃基板及制造方法 [P].

原田大实 ;

森川护 ;

竹内正树 ;

柴野由纪夫 .

中国专利 :CN102096311A ,2011-06-15

[4]

一种用于消解玻璃基板的前处理方法 [P].

李青 ;

李赫然 ;

宋亚滨 ;

陈天德 ;

赵永华 ;

董庆敏 ;

潘宁 ;

范红宾 ;

张熙琛 .

中国专利 :CN120253383A ,2025-07-04

[5]

玻璃强化方法、玻璃基板和用于玻璃的蚀刻材料 [P].

熊圣安 ;

古丛彬 ;

龚小龙 ;

李雄波 .

中国专利 :CN114455858A ,2022-05-10

[6]

玻璃强化方法、玻璃基板和用于玻璃的蚀刻材料 [P].

熊圣安 ;

古丛彬 ;

龚小龙 ;

李雄波 .

中国专利 :CN114455858B ,2024-02-27

[7]

蚀刻玻璃基板的装置 [P].

李雅蘫 ;

韩官荣 .

中国专利 :CN102557465B ,2012-07-11

[8]

用于玻璃基板的蚀刻系统以及使用所述系统的蚀刻方法 [P].

金基浩 .

中国专利 :CN106186710A ,2016-12-07

[9]

玻璃基板的蚀刻方法及蚀刻浸泡装置 [P].

李嘉 .

中国专利 :CN104045242B ,2014-09-17

[10]

玻璃基板蚀刻方法、玻璃薄板及玻璃基板蚀刻装置 [P].

朴亨根 ;

高星宇 .

中国专利 :CN102674700A ,2012-09-19

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