用于形成蚀刻掩模的玻璃基板的前处理方法

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专利类型
发明
申请号
CN201510102402.7
申请日
2015-03-09
公开(公告)号
CN104909581A
公开(公告)日
2015-09-16
发明(设计)人
植松照博
申请人
申请人地址
日本神奈川县
IPC主分类号
C03C2300
IPC分类号
G03F738
代理机构
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人
葛凡
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
用于形成蚀刻掩模的玻璃基板的前处理方法 [P]. 
植松照博 ;
田上胜弥 .
中国专利 :CN105676601A ,2016-06-15
[2]
玻璃基板的蚀刻处理方法 [P]. 
西条佳孝 ;
铃木祐一 ;
秋山良司 ;
竹中敦义 ;
加濑准一郎 .
中国专利 :CN101868428A ,2010-10-20
[3]
形成光掩模的玻璃基板及制造方法 [P]. 
原田大实 ;
森川护 ;
竹内正树 ;
柴野由纪夫 .
中国专利 :CN102096311A ,2011-06-15
[4]
一种用于消解玻璃基板的前处理方法 [P]. 
李青 ;
李赫然 ;
宋亚滨 ;
陈天德 ;
赵永华 ;
董庆敏 ;
潘宁 ;
范红宾 ;
张熙琛 .
中国专利 :CN120253383A ,2025-07-04
[5]
玻璃强化方法、玻璃基板和用于玻璃的蚀刻材料 [P]. 
熊圣安 ;
古丛彬 ;
龚小龙 ;
李雄波 .
中国专利 :CN114455858A ,2022-05-10
[6]
玻璃强化方法、玻璃基板和用于玻璃的蚀刻材料 [P]. 
熊圣安 ;
古丛彬 ;
龚小龙 ;
李雄波 .
中国专利 :CN114455858B ,2024-02-27
[7]
蚀刻玻璃基板的装置 [P]. 
李雅蘫 ;
韩官荣 .
中国专利 :CN102557465B ,2012-07-11
[8]
用于玻璃基板的蚀刻系统以及使用所述系统的蚀刻方法 [P]. 
金基浩 .
中国专利 :CN106186710A ,2016-12-07
[9]
玻璃基板的蚀刻方法及蚀刻浸泡装置 [P]. 
李嘉 .
中国专利 :CN104045242B ,2014-09-17
[10]
玻璃基板蚀刻方法、玻璃薄板及玻璃基板蚀刻装置 [P]. 
朴亨根 ;
高星宇 .
中国专利 :CN102674700A ,2012-09-19