一种高精度温度控制系统

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申请号
CN202111575439.3
申请日
2021-12-21
公开(公告)号
CN114647265A
公开(公告)日
2022-06-21
发明(设计)人
不公告发明人
申请人
申请人地址
100191 北京市海淀区中关村北二条13号43幢平房109房间
IPC主分类号
G05D2324
IPC分类号
代理机构
北京市浩东律师事务所 11499
代理人
李雁
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种基于TEC的高精度温度控制系统 [P]. 
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[3]
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沙利烽 ;
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[4]
一种高精度温度控制系统 [P]. 
崔静 ;
郭金龙 ;
沙利烽 ;
吴冬 ;
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一种高精度温度控制系统及方法 [P]. 
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于世杰 ;
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王明红 ;
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[7]
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[8]
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[9]
一种晶体生长过程高精度温度控制系统 [P]. 
潘丰 ;
沈正阳 ;
邹金鹏 .
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[10]
滚压辊轮高精度温度控制系统 [P]. 
王胜福 .
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